Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния

Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017 Т. 1 : Физика.— 2017.— [С. 270-272]
Main Author:	Петраков Ю. В.
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Other Authors:	Киселева Д. В. (727), Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Summary:	Заглавие с экрана Silicon nitride (Si3N4) films were deposited by magnetron sputtering of silicon target in (Ar+N2) atmosphere with refractive index 1.95 - 2.05. The results of Fourier transform infrared (FTIR) spectrophotometry showed Si-N bonds in the thin films with concentration 2.41·1023 - 3.48·1023 cm-3. Dependences of deposition rate, optical characteristics and surface morphology on rate of N2 flow and properties of magnetron power supply.
Published:	2017
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс магнетронное распыление нитрид кремния эллипсометрия спектроскопия плазмообразующие газы
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41465
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=622692

Similar Items

Study on the influence of the magnetron power supply on the properties of the Silicon Nitride films
Published: (2017)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2020)

Исследование ионно - реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Смирнова К. И.
Published: (Томск, 1971)

Оптимизация толщины водородонепроницаемых покрытий на основе нитрида титана
by: Фу Сияо
Published: (2017)

Влияние температурного режима спекания на структуру керамики на основе нитрида кремния и нитрида алюминия
by: Орехов А. С.
Published: (2019)

Особенности формирования механических характеристик покрытий из нитрида хрома при магнетронном распылении с горячей мишенью
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2022)

Получение керамических материалов триботехнического назначения на основе нитрида кремния
by: Беляченков И. О.
Published: (2018)

Исследование водородостойкости, механических и трибологических свойств циркониевого сплава Э110 с покрытием нитрида титана, осажденного методом магнетронного распыления
by: Керимкулов Э. М.
Published: (2018)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов
Published: (2009)

Оптические свойства пленок ITO
by: Петрюк А. Е.
Published: (2018)

Deposition of barrier layers of titanium nitride using dual magnetron
by: Yuriev Yu. N. Yuri Nikolaevich
Published: (2015)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС
by: Андреева М. А.
Published: (2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок
by: Шаронова А. А. Анна Александровна
Published: (2013)

Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si
Published: (2013)

Транспорт заряда в бесформовочных мемристорах на основе оксида и нитрида кремния автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 1.3.11
by: Гисматулин А. А. Андрей Андреевич
Published: (Новосибирск, 2023)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением
by: Петрова Ю. С.
Published: (2009)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2021)

Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана
by: Михневич К. С.
Published: (2015)

Нитрид кремния и материалы на его основе
by: Андриевский Р. А. Ростислав Александрович
Published: (Москва, Металлургия, 1984)

Investigating Thin Ti–O–N Films Deposited via Reactive Magnetron Sputtering
by: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Published: (2018)

Самораспространяющийся высокотемпературный синтез композиционного керамического порошка на основе нитрида кремния и диоксида циркония
by: Ленчукова Т. В.
Published: (2008)

Формирование функциональных алюминиевых покрытий при магнетронном распылении с комбинированным источником питания
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (2020)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок
by: Целовальникова А. Е.
Published: (2019)

Multilayer chromium nitride/carbon coatings deposited by magnetron sputtering
by: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Published: (2019)

Особенности работы импульсных источников питания для магнетрон- распылительных систем нанесения тонких пленок
by: Золкин А. С.
Published: (2017)

Структура и свойства покрытий на основе Ti-O-N, сформированных методом реактивного магнетронного распыления
Published: (2013)

Химия кремния и его несиликатных соединений
by: Савельев В. Г. Владимир Григорьевич
Published: (Москва, Изд-во МХТИ, 1985)

Возможность получения карбида кремния плазмодинамическим синтезом в системе SI-C-N-O
by: Насырбаев А. Артур
Published: (2018)

Surface modification of electrospun poly-(l-lactic) acid scaffolds by reactive magnetron sputtering
Published: (2018)

Нитрид кремния в электронике
Published: (Новосибирск, Наука, 1982)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением
by: Сунь Чжилэй
Published: (2019)

Ближний порядок, крупномасштабные флуктации потенциалла и фотолюминисценция в аморфном [SiNx]
Published: (2004)

Электрический пробой и электролюминесценция пленок ZnS:Mn, полученных высокочастотным магнетронным распылением автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Жигальский А. А. Александр Анатольевич
Published: (Томск, Изд-во ТУСУР, 1997)

Тонкопленочные гетерокомпозиции на основе карбида кремния. Раздел: Физико-технологические основы получения гетероструктур учебно-методическое пособие
by: Кузнецов Г. Д.
Published: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2018)

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления
by: Шпакова Н. Ю.
Published: (2009)

Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N
by: Гаранин Ю. А.
Published: (2022)

Электрокинетические свойства, растворение in vitro, потенциальная биосовместимость оксидных и оксинитридных пленок титана для сердечно-сосудистых стентов
Published: (2015)