APA (7th ed.) Citation

Петраков Ю. В., Киселева Д. В., & Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. (2017). Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2017.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Петраков Ю. В., Киселева Д. В., and Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2017, 2017.

MLA (9th ed.) Citation

Петраков Ю. В., et al. Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2017, 2017.