Петраков Ю. В., Киселева Д. В., & Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. (2017). Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния. 2017.
Style de citation Chicago (17e éd.)Петраков Ю. В., Киселева Д. В., et Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич. Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния. 2017, 2017.
Style de citation MLA (9e éd.)Петраков Ю. В., et al. Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния. 2017, 2017.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.