MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 621403
005 20240116101616.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\conf\19984 
035 |a RU\TPU\conf\19977 
090 |a 621403 
100 |a 20161219d2016 k y0engy50 ba 
101 0 |a eng 
102 |a RU 
105 |a y z 101zy 
135 |a drgn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a The phase and elemental co mposition of fil tered arc evaporated TiAlN coatings using separate cathodes  |f A. N. Sutygina [et al.] 
203 |a Текст  |c электронный 
300 |a Title screen 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\19513  |t Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)  |o International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia  |o abstracts  |f National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. B. M. Kovalchuk [et al.]  |v [P. 332]  |d 2016 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a элементный состав 
610 1 |a покрытия 
610 1 |a катоды 
610 1 |a дуги 
610 1 |a вакуумно-дуговое осаждение 
610 1 |a фазовый состав 
610 1 |a elemental distribution 
610 1 |a vacuum arc deposition 
610 1 |a phase composition 
701 1 |a Sutygina  |b A. N.  |c Physicist  |c Technician of Tomsk Polytechnic University  |f 1993-  |g Alina Nikolaevna  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\37677 
701 1 |a Kashkarov  |b E. B.  |c Physicist  |c Associate Professor, Researcher of Tomsk Polytechnic University, Candidate of Physical and Mathematical Sciences  |f 1991-  |g Egor Borisovich  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34949  |9 18267 
701 1 |a Shulepov  |b I. A.  |c physicist  |c Engineer-designer of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical sciences  |f 1954-  |g Ivan Anisimovich  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33092 
701 1 |a Nikitenkov  |b N. N.  |c Russian physicist  |c Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of Physical and Mathematical Sciences  |f 1953-  |g Nikolai Nikolaevich  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30409 
701 1 |a Pryamushko  |b T. S.  |c physicist  |c laboratory assistant of Tomsk Polytechnic University  |f 1993-  |g Tatiana Sergeevna  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34760 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |b Кафедра общей физики (ОФ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18734 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20170518  |g RCR 
856 4 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35861 
942 |c BK