|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
621308 |
| 005 |
20241119103306.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\19875
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\19874
|
| 090 |
|
|
|a 621308
|
| 100 |
|
|
|a 20161214d2016 k y0engy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a The influence of plasma parameters on the electron temperature and density
|f A. Tsapkov [et al.]
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 300 |
|
|
|a Title screen
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\19513
|t Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
|o International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia
|o abstracts
|f National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. B. M. Kovalchuk [et al.]
|v [P. 225]
|d 2016
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная температура
|
| 610 |
1 |
|
|a плотность
|
| 610 |
1 |
|
|a плазменная обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a оптическая спектроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a эмиссионная спектроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a plasma treatment
|
| 610 |
1 |
|
|a RF-magnetron plasma
|
| 610 |
1 |
|
|a optical emission spectroscopy
|
| 701 |
|
1 |
|a Tsapkov
|b A.
|g Alexander
|
| 701 |
|
1 |
|a Mukhametkaliev
|b T. M.
|c physicist
|c research engineer at Tomsk Polytechnic University
|f 1991-
|g Timur Mukhamedrashidovich
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34243
|9 17774
|
| 701 |
|
1 |
|a Evdokimov
|b K. E.
|c physicist
|c Associate Professor of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical sciences
|f 1976-
|g Kirill Evgenievich
|y Tomsk
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31791
|9 15902
|
| 701 |
|
1 |
|a Surmeneva
|b M. A.
|c specialist in the field of material science
|c engineer-researcher of Tomsk Polytechnic University, Associate Scientist
|f 1984-
|g Maria Alexandrovna
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31894
|9 15966
|
| 701 |
|
1 |
|a Surmenev
|b R. A.
|c physicist
|c Associate Professor of Tomsk Polytechnic University, Senior researcher, Candidate of physical and mathematical sciences
|f 1982-
|g Roman Anatolievich
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31885
|9 15957
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\21255
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
|b Центр технологий (ЦТ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\20620
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20161230
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35831
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
