MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 621306
005 20241125140844.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\conf\19873 
035 |a RU\TPU\conf\19867 
090 |a 621306 
100 |a 20161213d2016 k y0engy50 ba 
101 0 |a eng 
102 |a RU 
105 |a y z 101zy 
135 |a drgn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Determination of magnetron plasma parameters by optical emission spectroscopy and argon collisional-radiative model  |f K. E. Evdokimov [et al.] 
203 |a Текст  |c электронный 
300 |a Title screen 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\19513  |t Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)  |o International Congress, October 2–7, 2016, Tomsk, Russia  |o abstracts  |f National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. B. M. Kovalchuk [et al.]  |v [P. 193]  |d 2016 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a плазма 
610 1 |a оптическая спектроскопия 
610 1 |a эмиссионная спектроскопия 
610 1 |a аргон 
610 1 |a optical emission spectroscopy 
610 1 |a collisional-radiative model 
610 1 |a magnetron plasma 
701 1 |a Evdokimov  |b K. E.  |c physicist  |c Associate Professor of Tomsk Polytechnic University, Candidate of physical and mathematical sciences  |f 1976-  |g Kirill Evgenievich  |y Tomsk  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31791  |9 15902 
701 1 |a Konishchev  |b M. E.  |c physicist  |c Senior Lecturer of Tomsk Polytechnic University  |f 1987-  |g Maksim Evgenievich  |y Tomsk  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34212  |9 17743 
701 1 |a Pichugin  |b V. F.  |c Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of physical and mathematical sciences  |c Physicist  |f 1944-  |g Vladimir Fyodorovich  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30933 
701 0 |a Sun Zhilei  |c physicist  |c Research Engineer of Tomsk Polytechnic University  |f 1992-  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\46147 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |b Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\21255 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20200218  |g RCR 
856 4 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35829 
942 |c BK