Determination of magnetron plasma parameters by optical emission spectroscopy and argon collisional-radiative model
| Parent link: | Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016).— 2016.— [P. 193] |
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| 団体著者: | |
| その他の著者: | , , , |
| 要約: | Title screen |
| 言語: | 英語 |
| 出版事項: |
2016
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| 主題: | |
| オンライン・アクセス: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35829 |
| フォーマット: | 電子媒体 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=621306 |
| 要約: | Title screen |
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