|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
62075 |
| 005 |
20231031063055.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\65785
|
| 090 |
|
|
|a 62075
|
| 100 |
|
|
|a 20040401d1983 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технология и конструирование интегральных микросхем
|e учебное пособие
|f А. С. Березин, О. Р. Мочалкина
|g Под ред. И. П. Степаненко
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1983
|
| 215 |
|
|
|a 232 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 227
|
| 320 |
|
|
|a Предметный указатель: с. 228-229
|
| 451 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\29148
|y 5-256-01014-X
|t Технология и конструирование интегральных микросхем
|o учебное пособие для вузов
|f А. С. Березин, О. Р. Мочалкина
|c М.
|n Радио и связь
|d 1992
|p 320 с.
|a Березин, Андрей Сергеевич
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a технология
|
| 610 |
1 |
|
|a конструирование
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a биполярные транзисторы
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Березин
|b А. С.
|g Андрей Сергеевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Мочалкина
|b О. Р.
|g Ольга Романовна
|
| 702 |
|
1 |
|a Степаненко
|b И. П.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040401
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210903
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
