Лазерная обработка пленочных элементов

Opis bibliograficzny
1. autor:	Вейко В. П. Вадим Павлович
Język:	rosyjski
Wydane:	Ленинград, Машиностроение, 1986
Hasła przedmiotowe:	микроэлектронные схемы лазерная обработка оптическое изображение точность технологические процессы лазерные установки
Format:	Książka
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=62067

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	62067
005	20231031063041.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\65777
090			\|a 62067
100			\|a 20040401d1986 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Лазерная обработка пленочных элементов \|f В. П. Вейко
210			\|a Ленинград \|c Машиностроение \|d 1986
215			\|a 248 с. \|c ил.
320			\|a Библиогр.: с. 239-246
610	1		\|a микроэлектронные схемы
610	1		\|a лазерная обработка
610	1		\|a оптическое изображение
610	1		\|a точность
610	1		\|a технологические процессы
610	1		\|a лазерные установки
675			\|a 621.382.049 \|v 3
700		1	\|a Вейко \|b В. П. \|g Вадим Павлович
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20040401 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20150520 \|g PSBO
942			\|c BK