Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью

Sonraí bibleagrafaíochta
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2016 Т. 1 : Физика.— 2016.— [С. 253-255]
Príomhchruthaitheoir:	Рогожников Д. С.
Údar corparáideach:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Rannpháirtithe:	Юрьева А. В. Алена Викторовна (727), Шабунин А. С. Артём Сергеевич
Achoimre:	Заглавие с титульного экрана The paper presents a review of original investigations on magnetron sputtering systems with liquidphase target. The basic feature of such technique is a generation of liquid phase in solid state target. It providesto form a magnetron discharge on target vapor. For this reason, magnetron sputtering systems with liquid targetis used to deposition of thick metal films (10…100 μm) with high deposition rate (10…100 nm per second). Generally, it makes to increase of coatings quality, functional properties.
Foilsithe / Cruthaithe:	2016
Ábhair:	труды учёных ТПУ электронный ресурс металлические покрытия магнетронные распылительные системы жидкофазные мишени магнетронное распыление осаждение
Rochtain ar líne:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25825
Formáid:	Leictreonach Caibidil leabhair
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=618134

Míreanna comhchosúla

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
de réir: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Foilsithe / Cruthaithe: (2015)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
de réir: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Foilsithe / Cruthaithe: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
de réir: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Foilsithe / Cruthaithe: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
de réir: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Foilsithe / Cruthaithe: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
de réir: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Foilsithe / Cruthaithe: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
de réir: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Foilsithe / Cruthaithe: (Томск, 2018)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов
de réir: Жукова М. А.
Foilsithe / Cruthaithe: (2007)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit
Foilsithe / Cruthaithe: (2016)

Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
Foilsithe / Cruthaithe: (2014)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
Foilsithe / Cruthaithe: (2019)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда
de réir: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Foilsithe / Cruthaithe: (2012)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
de réir: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Foilsithe / Cruthaithe: (Томск, 2018)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
de réir: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Foilsithe / Cruthaithe: (2021)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Foilsithe / Cruthaithe: (2018)

Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью
de réir: Юрьева А. В. Алёна Викторовна
Foilsithe / Cruthaithe: (2015)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
de réir: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Foilsithe / Cruthaithe: (Томск, [Б. и.], 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
de réir: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Foilsithe / Cruthaithe: (Томск, [Б. и.], 2018)

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом
de réir: Николаев М. В.
Foilsithe / Cruthaithe: (2015)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом
de réir: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Foilsithe / Cruthaithe: (2022)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления
Foilsithe / Cruthaithe: (2008)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником
de réir: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Foilsithe / Cruthaithe: (2022)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
de réir: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Foilsithe / Cruthaithe: (2011)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома
de réir: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Foilsithe / Cruthaithe: (2020)

Магнетотронный диод с жидкофазной мишенью в условиях ассистирования разряда внешним ионным пучком
de réir: Такачакова А. В.
Foilsithe / Cruthaithe: (2007)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
de réir: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Foilsithe / Cruthaithe: (Томск, 2016)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями
Foilsithe / Cruthaithe: (2020)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС
de réir: Киселева Д. В.
Foilsithe / Cruthaithe: (2015)

Исследование характеристик медных покрытий полученных с помощью жидкофазного магнетронного диода
de réir: Войнов Р. Ю.
Foilsithe / Cruthaithe: (2009)

Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита
Foilsithe / Cruthaithe: (2013)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
de réir: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Foilsithe / Cruthaithe: (2020)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
de réir: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Foilsithe / Cruthaithe: (Томск, 2016)

Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени
de réir: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Foilsithe / Cruthaithe: (2015)

Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем
de réir: Арсланов И. Р.
Foilsithe / Cruthaithe: (2002)

Влияние электрических параметров магнетронной распылительной системы на структурные и защитные свойства хромовых покрытий
de réir: Ашихмин Д. А.
Foilsithe / Cruthaithe: (2024)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
de réir: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Foilsithe / Cruthaithe: (Томск, 2022)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
de réir: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Foilsithe / Cruthaithe: (Томск, 2022)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
de réir: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Foilsithe / Cruthaithe: (Москва, МИСИС, 2015)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
de réir: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Foilsithe / Cruthaithe: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
de réir: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Foilsithe / Cruthaithe: (Томск, [Б. и.], 2016)

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита
de réir: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Foilsithe / Cruthaithe: (2014)