Влияние напряжения смещения на морфологию поверхности и структуру азотсодержащих тонких пленок диоксида титана

Влияние напряжения смещения на морфологию поверхности и структуру азотсодержащих тонких пленок диоксида титана

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2016
Т. 1 : Физика.— 2016.— [С. 112-114]
Main Author: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Other Authors: Пустовалова А. А. Алла Александровна (727), Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Summary:Заглавие с титульного экрана
Nitrogen-TiO2 thin films have been deposited by the reactive magnetron sputtering by using differentO2/N2 gas ratios and negative bias voltage. This work reports on the study results of the changes in the surfacemorphology, structure and phase composition of the thin films depending on deposition modes. SEM analysisshowed the reduction of grains with nitrogen introduction. XRD data demonstrated phase transition in the filmsthrough the nitrogen incorporation and bias voltage applying.
Published: 2016
Subjects:
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
диоксид титана
физико-химические свойства
электрические свойства
магнетронные распылительные системы
нержавеющие стали
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25997
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=618097

Similar Items

Similar Items