Влияние напряжения смещения на морфологию поверхности и структуру азотсодержащих тонких пленок диоксида титана; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Влияние напряжения смещения на морфологию поверхности и структуру азотсодержащих тонких пленок диоксида титана; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2016 Т. 1 : Физика.— 2016.— [С. 112-114]
Hovedforfatter:	Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Institution som forfatter:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Andre forfattere:	Пустовалова А. А. Алла Александровна (научный руководитель), Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Summary:	Заглавие с титульного экрана Nitrogen-TiO2 thin films have been deposited by the reactive magnetron sputtering by using differentO2/N2 gas ratios and negative bias voltage. This work reports on the study results of the changes in the surfacemorphology, structure and phase composition of the thin films depending on deposition modes. SEM analysisshowed the reduction of grains with nitrogen introduction. XRD data demonstrated phase transition in the filmsthrough the nitrogen incorporation and bias voltage applying.
Sprog:	russisk
Udgivet:	2016
Fag:	труды учёных ТПУ электронный ресурс диоксид титана физико-химические свойства электрические свойства магнетронные распылительные системы нержавеющие стали
Online adgang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25997
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=618097

Lignende værker

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Udgivet: (Томск, 2016)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Киселева Д. В.
Udgivet: (2015)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
af: Мазурик Е. А.
Udgivet: (2014)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Udgivet: (Томск, 2016)

Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав; Современные техника и технологии; Т. 3
af: Иванова Н. М.
Udgivet: (2014)

Hybrid biocomposites based on titania nanotubes and a hydroxyapatite coating deposited by RF-magnetron sputtering: Surface topography, structure, and mechanical properties; Applied Surface Science; Vol. 426
Udgivet: (2017)

Оптимизация коэффициента преломления тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (2013)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
af: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2016)

Технологические особенности дуальной МРС при реактивном осаждении тонких пленок диоксида титана; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (2012)

Исследование влияния свойств тигля на интенсивность эмиссии атомов с поверхности жидкометаллической мишени МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Валдаева С. В.
Udgivet: (2012)

PLLA scaffold modification using magnetron sputtering of the copper target to provide antibacterial properties; Resource-Efficient Technologies; Vol. 3, iss. 2
Udgivet: (2017)

Исследование оптических свойств нанопорошков высокодефектного диоксида титана; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
af: Палатова А. В.
Udgivet: (2018)

Электропроводящие антифрикционные покрытия на основе системы CU-MO-S; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Udgivet: (2016)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (2012)

Получение сорбентов на основе диоксида титана; Энергетика: эффективность, надёжность, безопасность
af: Смирнова В. В. Валентина Владимировна
Udgivet: (2011)

Влияние величины подведённой энергии на синтез нанокристаллического диоксида титана, полученного плазмодинамическим методом; Химия и химическая технология в XXI веке
af: Вымпина Ю. Н. Юлия Николаевна
Udgivet: (2020)

Седиментационные свойства наночастиц диоксида титана: влияние ультразвуковой обработки суспензий; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 2
af: Лиханосова У. А.
Udgivet: (2025)

Низкоэмиссионные и терморегулирующие покрытия на основе тонких слоев серебра; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11/2
Udgivet: (2012)

Фторидная технология получения пигментного диоксида титана; Фторидные технологии
af: Андреев А. А. Артем Андреевич
Udgivet: (2009)

Расчет зонной структуры диоксида титана методом Хартри-Фока; Молодежь и современные информационные технологии; Т. 1
Udgivet: (2016)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
af: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2017)

Получение диоксида титана рутильной формы из фтористых солей титана; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 2
af: Файзуллаев Д. Ш.
Udgivet: (2014)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
af: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Udgivet: (Томск, 2017)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Шпакова Н. Ю.
Udgivet: (2011)

Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1
Udgivet: (2016)

Горение нанопорошка алюминия с добавками диоксида титана и циркония; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Шинкевич Е. В. Екатерина Викторовна
Udgivet: (2012)

Разработка фторидной технологии получения пигментного диоксида титана из ильменита: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.02
af: Андреев А. А. Артем Андреевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2007)

Разработка фторидной технологии получения пигментного диоксида титана из ильменита: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
af: Андреев А. А. Артем Андреевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2007)

Разработка фторидной технологии получения пигментного диоксида титана из ильменита: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.02
af: Андреев А. А. Артем Андреевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2007)

Несбалансированная магнетронная распылительная система с электромагнитной катушкой; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
af: Шпакова Н. Ю.
Udgivet: (2009)

Фтороаммонийная технология получения пигментного диоксида титана из ильменита; Физико-технические проблемы атомной энергетики и промышленности
af: Андреев А. А. Артем Андреевич
Udgivet: (2007)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
af: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2017)

Angular thickness distribution and target utilization for hot Ni target magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 160
af: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Udgivet: (2018)

О возможности получения порошка диоксида титана, синтезированного плазмодинамическим методом; Материаловедение; № 11
Udgivet: (2020)

Исследование эксплуатационных характеристик твердооксидных топливных элементов с YSZ/CGO электролитом; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016)
af: Ромбаева М. Р.
Udgivet: (2016)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Udgivet: (2020)

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
af: Николаев М. В.
Udgivet: (2015)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
af: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Udgivet: (Томск, 2016)

Получение диоксида титана рутильной формы кристаллической решетки из растворов содержащих фтораммонийные комплексные соли титана; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 2
af: Лаштур А. Л.
Udgivet: (2015)