Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС

Detaylı Bibliyografya
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2016 Т. 1 : Физика.— 2016.— [С. 43-45]
Yazar:	Андреева М. А.
Müşterek Yazar:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Diğer Yazarlar:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич (727)
Özet:	Заглавие с титульного экрана The article gives a look on researches of various parameters influence (power sources, oxygen flow,the pressure in the chamber and so on) on the magnetron sputtering system work using the method of titanium sputtering in the atmosphere of oxygen. The use of different power sources influences on the deposition rate and film properties.
Baskı/Yayın Bilgisi:	2016
Konular:	труды учёных ТПУ электронный ресурс оксид титана питание магнетронное распыление магнетронные разряды источники
Online Erişim:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25875
Materyal Türü:	Elektronik Kitap Bölümü
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=618016

Benzer Materyaller

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана
Yazar:: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2010)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
Yazar:: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления
Yazar:: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2009)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением
Yazar:: Сунь Чжилэй
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением
Yazar:: Сунь Чжилэй
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
Yazar:: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2009)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
Yazar:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 2016)

Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
Yazar:: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (2021)

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС
Yazar:: Киселева Д. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита
Baskı/Yayın Bilgisi: (2013)

Formation and structural features of nitrogen-doped titanium dioxide thin films grown by reactive magnetron sputtering
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением
Yazar:: Петрова Ю. С.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2009)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
Yazar:: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, [Б. и.], 2016)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления
Yazar:: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2014)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления
Yazar:: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2012)

Оптимизация толщины водородонепроницаемых покрытий на основе нитрида титана
Yazar:: Фу Сияо
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
Yazar:: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита
Yazar:: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (2014)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
Yazar:: Рогожников Д. С.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме
Yazar:: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2022)

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана
Yazar:: Сунь Чжилэй
Baskı/Yayın Bilgisi: (2014)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
Baskı/Yayın Bilgisi: (2013)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
Yazar:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 2016)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Hybrid biocomposites based on titania nanotubes and a hydroxyapatite coating deposited by RF-magnetron sputtering: Surface topography, structure, and mechanical properties
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)

Medical nanofilms of titanium oxynitride deposited by reactive magnetron sputtering
Yazar:: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
Yazar:: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
Yazar:: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, [Б. и.], 2016)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок
Yazar:: Целовальникова А. Е.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления
Baskı/Yayın Bilgisi: (2008)

Оптические свойства пленок ITO
Yazar:: Петрюк А. Е.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)

Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния
Yazar:: Петраков Ю. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)

Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si
Baskı/Yayın Bilgisi: (2013)

Исследование водородостойкости, механических и трибологических свойств циркониевого сплава Э110 с покрытием нитрида титана, осажденного методом магнетронного распыления
Yazar:: Керимкулов Э. М.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением
Yazar:: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Baskı/Yayın Bilgisi: (2012)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition
Yazar:: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)