Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Detalhes bibliográficos
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2016 Т. 1 : Физика.— 2016.— [С. 43-45]
Autor principal:	Андреева М. А.
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)
Outros Autores:	Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич (научный руководитель)
Resumo:	Заглавие с титульного экрана The article gives a look on researches of various parameters influence (power sources, oxygen flow,the pressure in the chamber and so on) on the magnetron sputtering system work using the method of titanium sputtering in the atmosphere of oxygen. The use of different power sources influences on the deposition rate and film properties.
Idioma:	russo
Publicado em:	2016
Assuntos:	труды учёных ТПУ электронный ресурс оксид титана питание магнетронное распыление магнетронные разряды источники
Acesso em linha:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25875
Formato:	Recurso Electrónico Capítulo de Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=618016

Registos relacionados

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
Por: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicado em: (2010)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
Por: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Publicado em: (2009)

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
Por: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Publicado em: (2009)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Por: Сунь Чжилэй
Publicado em: (2019)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Por: Сунь Чжилэй
Publicado em: (2020)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
Por: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicado em: (2009)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Por: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publicado em: (Томск, 2016)

Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering; Advanced Materials Research; Vol. 1085 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014)
Publicado em: (2015)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
Por: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Publicado em: (2021)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
Por: Киселева Д. В.
Publicado em: (2015)

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
Publicado em: (2015)

Phenomenological Model of Dc Magnetron Discharge; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Publicado em: (2004)

Физико-механические характеристики ВЧ-магнетронных покрытий на основе серебросодержащего гидроксиапатита; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 10
Publicado em: (2013)

Formation and structural features of nitrogen-doped titanium dioxide thin films grown by reactive magnetron sputtering; Applied Surface Science; Vol. 534
Publicado em: (2020)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
Por: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2016)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Por: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Publicado em: (2014)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Por: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicado em: (2012)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением; Современные техника и технологии; Т. 2
Por: Петрова Ю. С.
Publicado em: (2009)

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук
Por: Сунь Чжилэй
Publicado em: (2014)

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
Por: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Publicado em: (2014)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Por: Рогожников Д. С.
Publicado em: (2016)

Оптимизация толщины водородонепроницаемых покрытий на основе нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Por: Фу Сияо
Publicado em: (2017)

Изучение свойств поверхности и растворимости покрытий оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
Por: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Publicado em: (2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Por: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publicado em: (Томск, 2016)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1
Publicado em: (2013)

Осаждение плёнок оксида меди при магнетронном распылении в металлическом режиме; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Por: Воронина Е. Д. Екатерина Дмитриевна
Publicado em: (2022)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Publicado em: (2019)

Hybrid biocomposites based on titania nanotubes and a hydroxyapatite coating deposited by RF-magnetron sputtering: Surface topography, structure, and mechanical properties; Applied Surface Science; Vol. 426
Publicado em: (2017)

Medical nanofilms of titanium oxynitride deposited by reactive magnetron sputtering; Nanoparticles, nanostructured coatings and microcontainers: technology, properties, applications
Por: Boytsova E. L. Elena Lvovna
Publicado em: (2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
Por: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicado em: (Томск, 2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
Por: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2016)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Por: Целовальникова А. Е.
Publicado em: (2019)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления; Магнетронные распылительные системы
Publicado em: (2008)

Оптические свойства пленок ITO; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
Por: Петрюк А. Е.
Publicado em: (2018)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering; Thin Solid Films; Vol. 627
Publicado em: (2017)

Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
Publicado em: (2013)

Исследование водородостойкости, механических и трибологических свойств циркониевого сплава Э110 с покрытием нитрида титана, осажденного методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Por: Керимкулов Э. М.
Publicado em: (2018)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
Por: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Publicado em: (2012)

Влияние параметров источника питания магнетрона на свойства плёнок нитрида кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Por: Петраков Ю. В.
Publicado em: (2017)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Por: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Publicado em: (Томск, [Б. и.], 2016)