Разработка метода толщинометрии кремниевого покрытия
| Parent link: | Неразрушающий контроль: электронное приборостроение, технологии, безопасность: сборник трудов V Всероссийской научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых учёных, Томск, 25-29 мая 2015 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2015 Т. 1.— 2015.— [91-94] |
|---|---|
| 主要作者: | |
| 企業作者: | |
| 其他作者: | |
| 總結: | Заглавие с титульного экрана |
| 語言: | 俄语 |
| 出版: |
2015
|
| 叢編: | Современные системы и технологии в неразрушающем контроле |
| 主題: | |
| 在線閱讀: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23686 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C36/V1/025.pdf |
| 格式: | 電子 Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=614213 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 614213 | ||
| 005 | 20231101132809.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\conf\12380 | ||
| 090 | |a 614213 | ||
| 100 | |a 20150917d2015 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y z 101zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Разработка метода толщинометрии кремниевого покрытия |f А. А. Ловицкий |g науч. рук. Б. И. Капранов | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 225 | 1 | |a Современные системы и технологии в неразрушающем контроле | |
| 230 | |a 1 компьютерный файл (pdf; 482 Kb) | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного экрана | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\12353 |t Неразрушающий контроль: электронное приборостроение, технологии, безопасность |o сборник трудов V Всероссийской научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых учёных, Томск, 25-29 мая 2015 г. |o в 2 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |d 2015 | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\12354 |t Т. 1 |v [91-94] |d 2015 | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a толщинометрия | |
| 610 | 1 | |a карбидокремниевые покрытия | |
| 610 | 1 | |a толщина | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 700 | 1 | |a Ловицкий |b А. А. | |
| 702 | 1 | |a Капранов |b Б. И. |c российский учёный в области физических методов и приборов контроля качества |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1941- |g Борис Иванович |2 stltpush |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт неразрушающего контроля (ИНК) |b Лаборатория № 40 (Технической томографии и интроскопии) (Лаборатория № 40) |h 6776 |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\col\20619 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20210205 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23686 | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C36/V1/025.pdf | |
| 942 | |c BK | ||