|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
613568 |
| 005 |
20251119163835.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\11713
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\11712
|
| 090 |
|
|
|a 613568
|
| 100 |
|
|
|a 20150819d2015 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Импульсное магнетронное осаждение покрытий на основе системы Cu-Mo-S
|f С. Ю. Жарков, М. П. Калашников, А. Р. Сунгатулин, В. П. Сергеев
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Технологии наноматериалов и материалов нового поколения
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 89 (5 назв.)]
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\11660
|t Высокие технологии в современной науке и технике
|o сборник научных трудов IV Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Н. Яковлева
|v [С. 86-89]
|d 2015
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a композитные покрытия
|
| 701 |
|
1 |
|a Жарков
|b С. Ю.
|
| 701 |
|
1 |
|a Калашников
|b М. П.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|g Марк Петрович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31797
|9 15908
|
| 701 |
|
1 |
|a Сунгатулин
|b А. Р.
|
| 701 |
|
1 |
|a Сергеев
|b В. П.
|c специалист в области материаловедения
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1949-
|g Виктор Петрович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25827
|9 11700
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210127
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15601
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C17/022.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|