Плазмодинамический синтез нитрида алюминия в системах с газообразным и твердым прекурсором
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of fundamental sciences development: сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) ; Томский государственный архитектурно-строительный университет (ТГАСУ) ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) ; ред. кол. И. А. Курзина ; Г. А. Воронова ; С. А. Поробова. [С. 1143-1145].— , 2015 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Summary: | Заглавие с экрана Aluminum nitride is prospective material due to its high thermal conductivity. This paper shows the results of obtaining of aluminum nitride by plasma dynamic method in systems with gaseous (nitrogen N2) and solid (melamine C[3]N[6]H[6]) precursors. Synthesized products were investigated using XRD and TEM analyses. According to TEM products predominantly consist of well-crystallized single crystals of aluminum nitride with particle size 60-120 nm and small amount of aluminum particles. The results of XRD show that using of solid precursors is more preferable in the area of obtaining AlN phase but the product has a lot of impurities. |
| Language: | Russian |
| Published: |
2015
|
| Series: | Наноматериалы и нанотехнологии |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19091 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/364.pdf |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=613202 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 613202 | ||
| 005 | 20231226163600.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\conf\11334 | ||
| 035 | |a RU\TPU\conf\11333 | ||
| 090 | |a 613202 | ||
| 100 | |a 20150708d2015 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a a z 101zy | ||
| 135 | |a drgn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Плазмодинамический синтез нитрида алюминия в системах с газообразным и твердым прекурсором |d The plasma dynamic sythesis of aluminum nitride in sistems with gaseous and solid precursors |f И. И. Шаненков, Ю. Л. Шаненкова |g науч. рук. А. А. Сивков | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 215 | |a 1 файл(340 Кб) | ||
| 225 | 1 | |a Наноматериалы и нанотехнологии | |
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 1145 (5 назв.)] | ||
| 330 | |a Aluminum nitride is prospective material due to its high thermal conductivity. This paper shows the results of obtaining of aluminum nitride by plasma dynamic method in systems with gaseous (nitrogen N2) and solid (melamine C[3]N[6]H[6]) precursors. Synthesized products were investigated using XRD and TEM analyses. According to TEM products predominantly consist of well-crystallized single crystals of aluminum nitride with particle size 60-120 nm and small amount of aluminum particles. The results of XRD show that using of solid precursors is more preferable in the area of obtaining AlN phase but the product has a lot of impurities. | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\10376 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of fundamental sciences development |o сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) ; Томский государственный архитектурно-строительный университет (ТГАСУ) ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) ; ред. кол. И. А. Курзина ; Г. А. Воронова ; С. А. Поробова |v [С. 1143-1145] |d 2015 | |
| 510 | 1 | |a The plasma dynamic sythesis of aluminum nitride in sistems with gaseous and solid precursors |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a плазмодинамический синтез | |
| 610 | 1 | |a нитрид алюминия | |
| 610 | 1 | |a газообразные перекурсоры | |
| 610 | 1 | |a твердые перекурсоры | |
| 700 | 1 | |a Шаненков |b И. И. |c специалист в области электроэнергетики |c доцент Томского политехнического университета, кандидат наук |f 1990- |g Иван Игоревич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31744 |9 15856 | |
| 701 | 1 | |a Шаненкова |b Ю. Л. |c специалист в области электроэнергетики |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1991- |g Юлия Леонидовна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34117 |9 17657 | |
| 702 | 1 | |a Сивков |b А. А. |c специалист в области электроэнергетики |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1951- |g Александр Анатольевич |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Энергетический институт (ЭНИН) |b Кафедра электроснабжения промышленных предприятий (ЭПП) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18676 |
| 801 | 1 | |a RU |b 63413507 |c 20101016 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20210128 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19091 | |
| 856 | 4 | |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/364.pdf | |
| 942 | |c BK | ||