Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра; Перспективы развития фундаментальных наук

Исследование параметров плазмы реактивного магнетронного разряда с помощью зонда Ленгмюра

Detalles Bibliográficos
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2015.— [С. 134-136]
Autor Principal: Чжилей С.
Autor Corporativo: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Outros autores: Конищев М. Е. Максим Евгеньевич (научный руководитель), Евдокимов К. Е. Кирилл Евгеньевич, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Summary:Заглавие с экрана
One of the most prospective methods of making the biocompatible coatings is reactive magnetron sputtering. It allows obtaining coatings with well controllable chemical composition. In order to control magnetron plasma parametersa Langmuir probe is widely used. A method for probe data processing has been developed. It includes raw data averaging and least-square methods for determining of plasma parameters such as electron temperature and ion density. The averaging is used in order to reduce an impact of data oscillations caused by proximity of probe and discharge frequencies. Using the method, plasma discharge parameters dependence on reactive gas mixture type has been investigated.
Idioma:ruso
Publicado: 2015
Series:Физика
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
плазма
магнетронные разряды
зонды Ленгмюра
параметры
Acceso en liña:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19130
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/035.pdf
Formato: Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=612941

Títulos similares

Títulos similares