Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2015.— [С. 125-127]
Main Author:	Киселева Д. В.
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Other Authors:	Михневич К. С. (научный руководитель), Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Summary:	Заглавие с экрана The titanium nitride (TiN) thin films of polycrystalline structure (110), (200) and (220) with elasticmodulus 153.2…395.7 GPa were obtained by means of magnetron sputtering of titanium cathode in argon andnitrogen. The electrical resistance of the samples is in the range of 0.15 ... 1.24 m[omega]·cm. The effects of phasecomposition, microstructure, morphology and physical-mechanical properties of TiN on d[s-t] and N[2] flow rate arepresented.
Language:	Russian
Published:	2015
Series:	Физика
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ осаждение барьерные слои нитрид титана магнетронные системы магнетронные распылительные системы пленки
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19128 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/032.pdf
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=612939

Similar Items

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)

Магнетронное осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
by: Михневич К. С.
Published: (2015)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Published: (2011)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2021)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Рогожников Д. С.
Published: (2016)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Мазурик Е. А.
Published: (2014)

Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target; Plasma Physics and Technology Journal; Vol. 3, № 1
Published: (2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, 2018)

Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 9, iss. 6
Published: (2015)

Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Иванова Н. М.
Published: (2014)

Hybrid biocomposites based on titania nanotubes and a hydroxyapatite coating deposited by RF-magnetron sputtering: Surface topography, structure, and mechanical properties; Applied Surface Science; Vol. 426
Published: (2017)

Влияние напряжения смещения на морфологию поверхности и структуру азотсодержащих тонких пленок диоксида титана; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Published: (2016)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Published: (2020)

Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Published: (2019)

Исследование влияния свойств тигля на интенсивность эмиссии атомов с поверхности жидкометаллической мишени МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Валдаева С. В.
Published: (2012)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Fabrication and physico-mechanical properties of thin magnetron sputter deposited silver-containing hydroxyapatite films; Applied Surface Science; Vol. 360, pt. B
Published: (2015)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Published: (2019)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Published: (2018)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)
Published: (2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2020)

Зависимость режимов осаждения оксида титана от параметров источника питания МРС; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Андреева М. А.
Published: (2016)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Шпакова Н. Ю.
Published: (2011)

Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
by: Ажгихин М. И.
Published: (2015)

Дуальная магнетронная распылительная система
Published: ()

Низкоэмиссионные и терморегулирующие покрытия на основе тонких слоев серебра; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11/2
Published: (2012)

Несбалансированная магнетронная распылительная система с электромагнитной катушкой; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
by: Шпакова Н. Ю.
Published: (2009)

Влияние конфигурации магнитного поля дуальной МРС на свойства пленок нитрида титана; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Бутько Я. А. Яна Александровна
Published: (2013)

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
by: Николаев М. В.
Published: (2015)

Angular thickness distribution and target utilization for hot Ni target magnetron sputtering; Vacuum; Vol. 160
by: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Published: (2018)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2010)

Исследование эксплуатационных характеристик твердооксидных топливных элементов с YSZ/CGO электролитом; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016)
by: Ромбаева М. Р.
Published: (2016)

PLLA scaffold modification using magnetron sputtering of the copper target to provide antibacterial properties; Resource-Efficient Technologies; Vol. 3, iss. 2
Published: (2017)