A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине - Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich; Ananin P. S. Petr Semenovich; Sivin D. O. Denis Olegovich; Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich; Zhelomsky S. G. (Радиационные и пучково-плазменные технологии в науке, технике и медицине, 2015)
Заглавие с титульного экрана