A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине

Podrobná bibliografie
Parent link:Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине.— 2015.— [С. 215-216]
Korporace: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ)
Další autoři: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Sivin D. O. Denis Olegovich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, Zhelomsky S. G.
Shrnutí:Заглавие с титульного экрана
Jazyk:angličtina
Vydáno: 2015
Edice:Радиационные и пучково-плазменные технологии в науке, технике и медицине
Témata:
On-line přístup:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17445
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C49/184.pdf
Médium: xMaterials Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=612764

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 612764
005 20231101132726.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\conf\10895 
035 |a RU\TPU\conf\10894 
090 |a 612764 
100 |a 20150626d2015 k y0rusy50 ba 
101 0 |a eng 
102 |a RU 
105 |a y z 101zy 
135 |a drgn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing  |f A. I. Ryabchikov, P. S. Ananin, D. O. Sivin [et al.] 
203 |a Текст  |c электронный 
225 1 |a Радиационные и пучково-плазменные технологии в науке, технике и медицине 
230 |a 1 компьютерный файл (pdf; 692 Кb) 
300 |a Заглавие с титульного экрана 
337 |a Adobe Reader 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\10637  |t Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине  |o сборник тезисов докладов VII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 3-6 июня 2015 г.  |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Н. Дьяченко [и др.]  |v [С. 215-216]  |d 2015 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a магнитные поля 
610 1 |a подложки 
610 1 |a макрочастицы 
610 1 |a плазма 
701 1 |a Ryabchikov  |b A. I.  |c Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of physical and mathematical sciences  |c physicist  |f 1950-  |g Aleksandr Ilyich  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30912 
701 1 |a Ananin  |b P. S.  |c physicist  |c senior researcher of Tomsk Polytechnic University, candidate of physical and mathematical sciences  |f 1942-  |g Petr Semenovich  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\35673 
701 1 |a Sivin  |b D. O.  |c physicist  |c Senior researcher of Tomsk Polytechnic University, Candidate of technical sciences  |f 1978-  |g Denis Olegovich  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34240 
701 1 |a Shevelev  |b A. E.  |c Physicist  |c Engineer of Tomsk Polytechnic University  |f 1990-  |g Aleksey Eduardovich  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\36832 
701 1 |a Zhelomsky  |b S. G. 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |b Лаборатория № 22  |h 6469  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19225 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |b Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ)  |h 6684  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19361 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20210210  |g RCR 
856 4 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17445 
856 4 |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C49/184.pdf 
942 |c BK