A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing
| Parent link: | Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине: сборник тезисов докладов VII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 3-6 июня 2015 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Н. Дьяченко [и др.]. [С. 215-216].— , 2015 |
|---|---|
| Corporate Authors: | , |
| Outros Autores: | , , , , |
| Resumo: | Заглавие с титульного экрана |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
2015
|
| Colecção: | Радиационные и пучково-плазменные технологии в науке, технике и медицине |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17445 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C49/184.pdf |
| Formato: | Recurso Electrónico Capítulo de Livro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=612764 |
| Resumo: | Заглавие с титульного экрана |
|---|