|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
612317 |
| 005 |
20260422110747.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\10438
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\10436
|
| 090 |
|
|
|a 612317
|
| 100 |
|
|
|a 20150609d2015 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом
|f М. В. Николаев, Д. А. Зайцев
|g науч. рук. А. В. Юрьева
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Нанотехнологии и пучково-плазменные технологии создания материалов с заданными свойствами
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 199-200 (9 назв.)]
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\10353
|t Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
|o сборник научных трудов VI Всероссийской конференции, г. Томск, 22-24 апреля 2015 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|v [С. 193-200]
|d 2015
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a распылительные системы
|
| 610 |
1 |
|
|a жидкофазные катоды
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные покрытия
|
| 700 |
|
1 |
|a Николаев
|b М. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Зайцев
|b Д. А.
|c инженер Томского политехнического университета
|c физик
|f 1992-
|g Данила Александрович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34511
|
| 702 |
|
1 |
|a Юрьева
|b А. В.
|c специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий
|c ассистент Томского политехнического университета
|f 1983-
|g Алена Викторовна
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18735
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210119
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19399
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C08/056.pdf
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
