Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых

Bibliografiske detaljer
Parent link:Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых.— 2015.— [С. 159-163]
Hovedforfatter: Ажгихин М. И.
Institution som forfatter: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 12
Andre forfattere: Шульте Й. (научный руководитель), Эллмер К., Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Summary:Заглавие с титульного экрана
Sprog:russisk
Udgivet: 2015
Serier:Нанотехнологии и пучково-плазменные технологии создания материалов с заданными свойствами
Fag:
Online adgang:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19391
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C08/047.pdf
Format: Electronisk Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=612310

Lignende værker