Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы

Dettagli Bibliografici
Parent link:Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых: сборник научных трудов VI Всероссийской конференции, г. Томск, 22-24 апреля 2015 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ). [С. 159-163].— , 2015
Autore principale: Ажгихин М. И.
Ente Autore: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 12
Altri autori: Шульте Й. (727), Эллмер К., Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Riassunto:Заглавие с титульного экрана
Lingua:russo
Pubblicazione: 2015
Serie:Нанотехнологии и пучково-плазменные технологии создания материалов с заданными свойствами
Soggetti:
Accesso online:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19391
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C08/047.pdf
Natura: Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=612310

Documenti analoghi