Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых

Détails bibliographiques
Parent link:Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых.— 2015.— [С. 159-163]
Auteur principal: Ажгихин М. И.
Collectivité auteur: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 12
Autres auteurs: Шульте Й. (научный руководитель), Эллмер К., Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Résumé:Заглавие с титульного экрана
Langue:russe
Publié: 2015
Collection:Нанотехнологии и пучково-плазменные технологии создания материалов с заданными свойствами
Sujets:
Accès en ligne:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19391
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C08/047.pdf
Format: Électronique Chapitre de livre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=612310