|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
612310 |
| 005 |
20260422105810.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\10431
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\10430
|
| 090 |
|
|
|a 612310
|
| 100 |
|
|
|a 20150609d2015 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы
|f М. И. Ажгихин, Й. Шульте, К. Эллмер
|g науч. рук. В. В. Ан
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Нанотехнологии и пучково-плазменные технологии создания материалов с заданными свойствами
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 163 (5 назв.)]
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\10353
|t Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
|o сборник научных трудов VI Всероссийской конференции, г. Томск, 22-24 апреля 2015 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|v [С. 159-163]
|d 2015
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a оксид меди
|
| 610 |
1 |
|
|a нитрид меди
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронные напыления
|
| 610 |
1 |
|
|a солнечные элементы
|
| 700 |
|
1 |
|a Ажгихин
|b М. И.
|
| 701 |
|
1 |
|a Шульте
|b Й.
|
| 701 |
|
1 |
|a Эллмер
|b К.
|
| 702 |
|
1 |
|a Ан
|b В. В.
|c химик
|c научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1972-
|g Владимир Вилорьевич
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Институт физики высоких технологий (ИФВТ)
|b Лаборатория № 12
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19054
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210119
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19391
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C08/047.pdf
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
