Исследование структуры тонких пленок оксида и нитрида меди, полученных магнетронным напылением при различном составе атмосферы
| Источник: | Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых: сборник научных трудов VI Всероссийской конференции, г. Томск, 22-24 апреля 2015 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ). [С. 159-163].— , 2015 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Автор-организация: | |
| Другие авторы: | , , |
| Примечания: | Заглавие с титульного экрана |
| Опубликовано: |
2015
|
| Серии: | Нанотехнологии и пучково-плазменные технологии создания материалов с заданными свойствами |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19391 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C08/047.pdf |
| Формат: | Электронный ресурс Статья |
| Запись в KOHA: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=612310 |
| Примечания: | Заглавие с титульного экрана |
|---|