|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
60785 |
| 005 |
20231031061915.0 |
| 010 |
|
|
|a 5020070300
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\64273
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\26489
|
| 090 |
|
|
|a 60785
|
| 100 |
|
|
|a 20040220d1994 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Проблемы микроэлектронной технологии
|f Физико-технологический институт; Под ред. А. А. Орликовского
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 1994
|
| 215 |
|
|
|a 126 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Труды физико-технологического института
|v Т. 8
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектронная аппаратура
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a сборники
|
| 610 |
1 |
|
|a труды
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Орликовский
|b А. А.
|g Александр Александрович
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Физико-технологический институт
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040220
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040225
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
