Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:Современные техника и технологии: сборник трудов XX международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 14-18 апреля 2014 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2014
Т. 3.— 2014.— [С. 335-336]
Main Author: Мазурик Е. А.
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт неразрушающего контроля (ИНК) Кафедра промышленной и медицинской электроники (ПМЭ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Other Authors: Арышева Г. В. Галина Владиславовна (727), Пустовалова А. А. Алла Александровна, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Summary:Заглавие с титульного экрана
Language:Russian
Published: 2014
Series:Наноматериалы, нанотехнологии и новая энергетика
Subjects:
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20978
http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C01/V3/160.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=607353

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 607353
005 20231226153710.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\conf\4734 
035 |a RU\TPU\conf\4733 
090 |a 607353 
100 |a 20140710d2014 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a y z 101zy 
135 |a drcn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления  |f Е. А. Мазурик, Г. В. Арышева, А. А. Пустовалова  |g науч. рук. В. Ф. Пичугин 
203 |a Текст  |c электронный 
225 1 |a Наноматериалы, нанотехнологии и новая энергетика 
300 |a Заглавие с титульного экрана 
320 |a [Библиогр.: с. 336 (2 назв.)] 
337 |a Adobe Reader 
461 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\3687  |t Современные техника и технологии  |o сборник трудов XX международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 14-18 апреля 2014 г.  |o в 3 т.  |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)   |d 2014 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\3691  |t Т. 3  |v [С. 335-336]  |d 2014 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a оксинитриды титана 
610 1 |a магнетронные распылительные системы 
610 1 |a покрытия 
610 1 |a биосовместимые покрытия 
610 1 |a ТПУ 
700 1 |a Мазурик  |b Е. А. 
701 1 |a Арышева  |b Г. В.  |c специалист в области электроники  |c ассистент Томского политехнического университета, кандидат технических наук  |f 1983-  |g Галина Владиславовна  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32284  |9 16273 
701 1 |a Пустовалова  |b А. А.  |c биофизик  |c инженер Томского политехнического университета  |f 1989-  |g Алла Александровна  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31045 
702 1 |a Пичугин  |b В. Ф.  |c российский физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1944-  |g Владимир Федорович  |4 727 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Институт неразрушающего контроля (ИНК)  |b Кафедра промышленной и медицинской электроники (ПМЭ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18719 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |b Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18726 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20210315  |g RCR 
856 4 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20978 
856 4 |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C01/V3/160.pdf 
942 |c BK