Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления
| Источник: | Современные техника и технологии: сборник трудов XX международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 14-18 апреля 2014 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ).— , 2014 Т. 3.— 2014.— [С. 335-336] |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Корпоративные авторы: | , |
| Другие авторы: | , , |
| Примечания: | Заглавие с титульного экрана |
| Опубликовано: |
2014
|
| Серии: | Наноматериалы, нанотехнологии и новая энергетика |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20978 http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C01/V3/160.pdf |
| Формат: | Электронный ресурс Статья |
| Запись в KOHA: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=607353 |
| Примечания: | Заглавие с титульного экрана |
|---|