Покрытия на основе оксинитридов титана, осажденные методом реактивного магнетронного распыления: морфология поверхности и химический состав; Современные техника и технологии; Т. 3 - Иванова Н. М. (Наноматериалы, нанотехнологии и новая энергетика, 2014)
Заглавие с титульного экрана