Механические свойства прозрачных покрытий на основе Si-Al-N на кварцевых стеклах; Перспективы развития фундаментальных наук

Détails bibliographiques
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2014.— [С. 980-982]
Auteur principal: Рыбалко Е. В.
Collectivité auteur: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Autres auteurs: Калашников М. П. Марк Петрович (научный руководитель), Воронов А. В., Сергеев В. П. Виктор Петрович
Résumé:Заглавие с экрана
The transparent coatings on the basis of Si-Al-N were prepared by reactive magnetron sputtering method. Structural-phase state of coatings on the basis of Si-Al-N was investigated by TEM, SEM and X-ray analysis. Nanohardness was measured by nanoindentation method, also we measured the shock durability of samples with and without coating.
Langue:russe
Publié: 2014
Collection:Наноматериалы и нанотехнологии
Sujets:
Accès en ligne:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/331.pdf
Format: MixedMaterials Électronique Chapitre de livre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=607045