Механические свойства прозрачных покрытий на основе Si-Al-N на кварцевых стеклах; Перспективы развития фундаментальных наук

Dettagli Bibliografici
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2014.— [С. 980-982]
Autore principale: Рыбалко Е. В.
Ente Autore: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Altri autori: Калашников М. П. Марк Петрович (научный руководитель), Воронов А. В., Сергеев В. П. Виктор Петрович
Riassunto:Заглавие с экрана
The transparent coatings on the basis of Si-Al-N were prepared by reactive magnetron sputtering method. Structural-phase state of coatings on the basis of Si-Al-N was investigated by TEM, SEM and X-ray analysis. Nanohardness was measured by nanoindentation method, also we measured the shock durability of samples with and without coating.
Lingua:russo
Pubblicazione: 2014
Serie:Наноматериалы и нанотехнологии
Soggetti:
Accesso online:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/331.pdf
Natura: Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=607045