Температурные условия CVD-осаждения как определяющий фактор в формировании плёнок кобальта с заданными эксплуатационными характеристиками; Перспективы развития фундаментальных наук

Температурные условия CVD-осаждения как определяющий фактор в формировании плёнок кобальта с заданными эксплуатационными характеристиками; Перспективы развития фундаментальных наук

Détails bibliographiques
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2014.— [С. 244-246]
Auteur principal:	Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Collectivité auteur:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Autres auteurs:	Доровских С. И. (научный руководитель), Панин А. В. Алексей Викторович
Résumé:	Заглавие с экрана Co films were deposited on Si(100) substrates by chemical vapor deposition (CVD). Co(N'acN'ac)2 was used as a precursor. The sizes of coherent scattering region (CSR) and phase composition of studied Co films were determined by the X-ray diffraction (XRD) analysis. The chemical composition was identified by the Energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX). As a result of this work the effect of substrate temperature on the texture, sizes of CSR, phase and chemical composition of Co films was revealed. It was found that Co films consist of alpha-Co and beta-Co crystals. Varying the substrate temperature allows to change widely the texture, sizes of CSR and chemical composition of Co films. The cobalt content and the texture degree of Co films are characterized by extreme substrate temperature dependence with a maximum at 320-330 °С. The size of CSR is weakly depends on the substrate temperature in the range of 300-330 °С but it starts to decrease at temperatures over 330 °С.
Langue:	russe
Publié:	2014
Collection:	Физика
Sujets:	электронный ресурс труды учёных ТПУ температурные условия CVD-осаждение пленки кобальт эксплуатационные характеристики
Accès en ligne:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/077.pdf
Format:	Électronique Chapitre de livre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=606875

Documents similaires

Закономерности структурообразования пленок CO, полученных методом CVD из диимината кобальта, в зависимости от температурных условий осаждения; Современное состояние и проблемы естественных наук
par: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Publié: (2014)

Исследование влияния условий MOCVD-осаждения на структуру и магнитные свойства тонких пленок кобальта; Современное материаловедение: материалы и технологии новых поколений
par: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Publié: (2014)

Влияние температуры испарителя на магнитные свойства пленок кобальта, нанесенных методом химического осаждения из газовой фазы (MOCVD); Современные техника и технологии; Т. 2
par: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Publié: (2013)

CVD Diamond Interaction with Fe at Elevated Temperatures; Materials; Vol. 11, iss. 12
Publié: (2018)

Рентгеноструктурные исследования пленок Co, полученных методом CVD; Высокие технологии в современной науке и технике
par: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Publié: (2014)

Светодиод с CVD-алмазным теплоотводом; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 8, ч. 3
Publié: (2013)

Влияние параметров CVD-осаждения на структуру и магнитные свойства пленок кобальта; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
par: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Publié: (2014)

Влияние температур подложки и испарителя на структуру, фазовый и элементный составы, магнитные и электрические свойства пленок кобальта, полученных методом химического осаждения из газовой фазы; Современные проблемы машиностроения
par: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Publié: (2013)

The dynamic sublayers for improving the adhesion of CVD diamond films on copper; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
par: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Publié: (2016)

Микроструктура и свойства пленок Co, формируемых методом химического осаждения; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
par: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Publié: (2013)

Periodic renucleation as an approach to improving the tribological properties of CVD diamond films; Tribology International; Vol. 200
Publié: (2024)

Modeling and random search optimization for the polysilicon CVD reactor; Results in Control and Optimization; Vol. 13
Publié: (2023)

Radio frequency bias enhanced nucleation of CVD diamond; Materials Letters; Vol. 324
Publié: (2022)

Коррозионностойкие и жаростойкие материалы : химическое газофазное осаждение защитных покрытий курс лекций
par: Душик В. В.
Publié: (Москва, МИСИС, 2013)

Lubricious behavior in CVD diamond/iron friction system at 25-700 ˚C; Materials Letters; Vol. 246
par: Zenkin S. P. Sergey Petrovich
Publié: (2019)

CVD-метод. Химическое парофазное осаждение
par: Сыркин В. Г. Виталий Григорьевич
Publié: (Москва, Наука, 2000)

CVD synthesis of BN and BCN coatings using trimethylborate precursor; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
par: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Publié: (2016)

The peculiarities of CVD diamond coatings synthesis in abnormal glow discharge plasma using repetitively-pulsed mode; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
par: Linnik S. A. Stepan Andreevich
Publié: (2016)

Highly selective deposition of CVD diamond on si wafers by using a combined technique of photolithography and ion etching; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
par: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Publié: (2016)

The peculiarities of structural modificaions of CVD polycrystalline diamond coatings by heavy doping with boron; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
par: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
Publié: (2016)

Установление технологических зависимостей работы концентратора KC-CVD6 с помощью метода группового учета аргументов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. Инжиниринг георесурсов; Т. 331, № 2
Publié: (2020)

Получение пленок Co методом MOCVD из диимината кобальта Co(N'acN'ac). Влияние температуры осаждения; Физическое материаловедение
par: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Publié: (2013)

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники
Publié: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2013)

Ч. 2: Металлургия никеля и кобальта; Металлургия меди, никеля и кобальта
Publié: (1966)

Ч. 2: Металлургия никеля и кобальта; Металлургия меди, никеля и кобальта
Publié: (1977)

Получение тонких пленок Ni и Co методом плазмохимического осаждения; Лазерная физика, наноструктуры, квантовая микроскопия
par: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Publié: (2012)

Технология производства кобальта монография
par: Юрьев А. И.
Publié: (Норильск, ЗГУ им. Н.М. Федоровского, 2014)

Производство кобальта из сульфидных руд
par: Борбат В. Ф. Владимир Федорович
Publié: (Москва, Металлургия, 1983)

Механизм взаимодействия оксида кобальта (II) и хлорида аммония; Журнал неорганической химии; Т. 57, вып. 7
par: Борисов В. А. Вадим Андреевич
Publié: (2012)

Сухие строительные смеси с повышенными эксплуатационными характеристиками Монография
par: Пичугин А.П. Анатолий Петрович
Publié: (Новосибирск, Золотой колос, 2014)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
Publié: (2009)

Cu-Ir thin film alloy as a potential substrate for the heteroepitaxial diamond growth; Materials Letters; Vol. 321
Publié: (2022)

Принципы и методы прогноза скрытых месторождений меди, никеля и кобальта
Publié: (Москва, Недра, 1987)

Производство и свойства хрома, ванадия, никеля, кобальта и их сплавов: конспект лекций
par: Анциферов В. Н.
Publié: (Пермь, Изд-во Пермского ун-та, 1976)

Химия и технология кобальта: учебное пособие
par: Большаков К. А. Кирилл Андреевич
Publié: (Москва, Изд-во МИТХТ, 1981)

Влияние параметров MOCVD-осаждения на структуру, электрофизические и магнитные свойства тонких пленок Co; Химия и технология полимерных и композиционных материалов
par: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Publié: (2012)

О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения; Современное состояние естественных и технических наук
par: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Publié: (2014)

Развитие теоретических основ металлургических процессов производства никеля, кобальта и меди: сборник научных трудов
Publié: (СПб., Гипроникель, 1991)

Металлургия кобальта: учебное пособие
par: Мечев В. В. Валерий Валентинович
Publié: (Красноярск, Изд-во КИЦМ, 1981)

Influence of deposition conditions on mechanical properties of a-C:H:SiOx films prepared by plasma-assisted chemical vapor deposition method; Surface and Coatings Technology; Vol. 349
Publié: (2018)