Температурные условия CVD-осаждения как определяющий фактор в формировании плёнок кобальта с заданными эксплуатационными характеристиками; Перспективы развития фундаментальных наук

Температурные условия CVD-осаждения как определяющий фактор в формировании плёнок кобальта с заданными эксплуатационными характеристиками; Перспективы развития фундаментальных наук

書誌詳細
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2014.— [С. 244-246]
第一著者:	Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
団体著者:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
その他の著者:	Доровских С. И. (научный руководитель), Панин А. В. Алексей Викторович
要約:	Заглавие с экрана Co films were deposited on Si(100) substrates by chemical vapor deposition (CVD). Co(N'acN'ac)2 was used as a precursor. The sizes of coherent scattering region (CSR) and phase composition of studied Co films were determined by the X-ray diffraction (XRD) analysis. The chemical composition was identified by the Energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX). As a result of this work the effect of substrate temperature on the texture, sizes of CSR, phase and chemical composition of Co films was revealed. It was found that Co films consist of alpha-Co and beta-Co crystals. Varying the substrate temperature allows to change widely the texture, sizes of CSR and chemical composition of Co films. The cobalt content and the texture degree of Co films are characterized by extreme substrate temperature dependence with a maximum at 320-330 °С. The size of CSR is weakly depends on the substrate temperature in the range of 300-330 °С but it starts to decrease at temperatures over 330 °С.
言語:	ロシア語
出版事項:	2014
シリーズ:	Физика
主題:	электронный ресурс труды учёных ТПУ температурные условия CVD-осаждение пленки кобальт эксплуатационные характеристики
オンライン･アクセス:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/077.pdf
フォーマット:	電子媒体図書の章
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=606875

類似資料

Закономерности структурообразования пленок CO, полученных методом CVD из диимината кобальта, в зависимости от температурных условий осаждения; Современное состояние и проблемы естественных наук
著者:: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
出版事項: (2014)

Исследование влияния условий MOCVD-осаждения на структуру и магнитные свойства тонких пленок кобальта; Современное материаловедение: материалы и технологии новых поколений
著者:: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
出版事項: (2014)

CVD Diamond Interaction with Fe at Elevated Temperatures; Materials; Vol. 11, iss. 12
出版事項: (2018)

Влияние температуры испарителя на магнитные свойства пленок кобальта, нанесенных методом химического осаждения из газовой фазы (MOCVD); Современные техника и технологии; Т. 2
著者:: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
出版事項: (2013)

Рентгеноструктурные исследования пленок Co, полученных методом CVD; Высокие технологии в современной науке и технике
著者:: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
出版事項: (2014)

Светодиод с CVD-алмазным теплоотводом; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 8, ч. 3
出版事項: (2013)

The dynamic sublayers for improving the adhesion of CVD diamond films on copper; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
著者:: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
出版事項: (2016)

Влияние температур подложки и испарителя на структуру, фазовый и элементный составы, магнитные и электрические свойства пленок кобальта, полученных методом химического осаждения из газовой фазы; Современные проблемы машиностроения
著者:: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
出版事項: (2013)

Влияние параметров CVD-осаждения на структуру и магнитные свойства пленок кобальта; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
著者:: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
出版事項: (2014)

Микроструктура и свойства пленок Co, формируемых методом химического осаждения; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
著者:: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
出版事項: (2013)

Periodic renucleation as an approach to improving the tribological properties of CVD diamond films; Tribology International; Vol. 200
出版事項: (2024)

Modeling and random search optimization for the polysilicon CVD reactor; Results in Control and Optimization; Vol. 13
出版事項: (2023)

Radio frequency bias enhanced nucleation of CVD diamond; Materials Letters; Vol. 324
出版事項: (2022)

Коррозионностойкие и жаростойкие материалы : химическое газофазное осаждение защитных покрытий курс лекций
著者:: Душик В. В.
出版事項: (Москва, МИСИС, 2013)

Lubricious behavior in CVD diamond/iron friction system at 25-700 ˚C; Materials Letters; Vol. 246
著者:: Zenkin S. P. Sergey Petrovich
出版事項: (2019)

CVD-метод. Химическое парофазное осаждение
著者:: Сыркин В. Г. Виталий Григорьевич
出版事項: (Москва, Наука, 2000)

CVD synthesis of BN and BCN coatings using trimethylborate precursor; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
著者:: Linnik S. A. Stepan Andreevich
出版事項: (2016)

The peculiarities of CVD diamond coatings synthesis in abnormal glow discharge plasma using repetitively-pulsed mode; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
著者:: Linnik S. A. Stepan Andreevich
出版事項: (2016)

Highly selective deposition of CVD diamond on si wafers by using a combined technique of photolithography and ion etching; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
著者:: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
出版事項: (2016)

The peculiarities of structural modificaions of CVD polycrystalline diamond coatings by heavy doping with boron; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
著者:: Okhotnikov V. V. Vitaly Vladimirovich
出版事項: (2016)

Установление технологических зависимостей работы концентратора KC-CVD6 с помощью метода группового учета аргументов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. Инжиниринг георесурсов; Т. 331, № 2
出版事項: (2020)

Получение пленок Co методом MOCVD из диимината кобальта Co(N'acN'ac). Влияние температуры осаждения; Физическое материаловедение
著者:: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
出版事項: (2013)

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники
出版事項: (Новосибирск, Изд-во СО РАН, 2013)

Ч. 2: Металлургия никеля и кобальта; Металлургия меди, никеля и кобальта
出版事項: (1966)

Ч. 2: Металлургия никеля и кобальта; Металлургия меди, никеля и кобальта
出版事項: (1977)

Технология производства кобальта монография
著者:: Юрьев А. И.
出版事項: (Норильск, ЗГУ им. Н.М. Федоровского, 2014)

Получение тонких пленок Ni и Co методом плазмохимического осаждения; Лазерная физика, наноструктуры, квантовая микроскопия
著者:: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
出版事項: (2012)

Алгоритм управления Siemens-реактором производства поликристаллического кремния; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 5: Управление, вычислительная техника и информатика
出版事項: (2009)

Cu-Ir thin film alloy as a potential substrate for the heteroepitaxial diamond growth; Materials Letters; Vol. 321
出版事項: (2022)

Производство кобальта из сульфидных руд
著者:: Борбат В. Ф. Владимир Федорович
出版事項: (Москва, Металлургия, 1983)

Механизм взаимодействия оксида кобальта (II) и хлорида аммония; Журнал неорганической химии; Т. 57, вып. 7
著者:: Борисов В. А. Вадим Андреевич
出版事項: (2012)

Принципы и методы прогноза скрытых месторождений меди, никеля и кобальта
出版事項: (Москва, Недра, 1987)

Производство и свойства хрома, ванадия, никеля, кобальта и их сплавов: конспект лекций
著者:: Анциферов В. Н.
出版事項: (Пермь, Изд-во Пермского ун-та, 1976)

Химия и технология кобальта: учебное пособие
著者:: Большаков К. А. Кирилл Андреевич
出版事項: (Москва, Изд-во МИТХТ, 1981)

Сухие строительные смеси с повышенными эксплуатационными характеристиками Монография
著者:: Пичугин А.П. Анатолий Петрович
出版事項: (Новосибирск, Золотой колос, 2014)

Influence of deposition conditions on mechanical properties of a-C:H:SiOx films prepared by plasma-assisted chemical vapor deposition method; Surface and Coatings Technology; Vol. 349
出版事項: (2018)

Развитие теоретических основ металлургических процессов производства никеля, кобальта и меди: сборник научных трудов
出版事項: (СПб., Гипроникель, 1991)

Металлургия кобальта: учебное пособие
著者:: Мечев В. В. Валерий Валентинович
出版事項: (Красноярск, Изд-во КИЦМ, 1981)

Влияние параметров MOCVD-осаждения на структуру, электрофизические и магнитные свойства тонких пленок Co; Химия и технология полимерных и композиционных материалов
著者:: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
出版事項: (2012)

О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения; Современное состояние естественных и технических наук
著者:: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
出版事項: (2014)