|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
606739 |
| 005 |
20260304164609.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\4118
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\4114
|
| 090 |
|
|
|a 606739
|
| 100 |
|
|
|a 20140611d2014 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Анализ топографии поверхности оксинитридных покрытий титана методом атомной силовой микроскопии
|d Analysis of the surface topography of titanium oxynitride coatings by the method of atomic force microscopy
|f Г. В. Арышева, В. С. Сыпченко, Н. М. Иванова
|g науч. рук. В. Ф. Пичугин, Т. Г. Петрашова
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл(421 Кб)
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 89 (4 назв.)]
|
| 330 |
|
|
|a In this paper we investigate the surface topography of coatings based on oxides and dioxins-titanium hydrides obtained by reactive sputtering, the analysis of roughness parameters, chemical composition and surface topography described.
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\3586
|t Перспективы развития фундаментальных наук
|l Prospects of fundamental sciences development
|o сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Е. А. Вайтулевич
|v [С. 87-89]
|d 2014
|
| 510 |
1 |
|
|a Analysis of the surface topography of titanium oxynitride coatings by the method of atomic force microscopy
|z eng
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a топография
|
| 610 |
1 |
|
|a оксинитридные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a атомная микроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a титан
|
| 610 |
1 |
|
|a силовая микроскопия
|
| 700 |
|
1 |
|a Арышева
|b Г. В.
|c специалист в области электроники
|c ассистент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1983-
|g Галина Владиславовна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32284
|9 16273
|
| 701 |
|
1 |
|a Сыпченко
|b В. С.
|c физик
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат наук
|f 1987-
|g Владимир Сергеевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28216
|9 13170
|
| 701 |
|
1 |
|a Иванова
|b Н. М.
|
| 702 |
|
1 |
|a Пичугин
|b В. Ф.
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1944-
|g Владимир Федорович
|4 727
|
| 702 |
|
1 |
|a Петрашова
|b Т. Г.
|c лингвист
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат филологических наук
|f 1962-
|g Тамара Георгиевна
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18726
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Кафедра иностранных языков физико-технического института (ИЯФТ)
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18736
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101016
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20140611
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/021.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
