Анализ топографии поверхности оксинитридных покрытий титана методом атомной силовой микроскопии; Перспективы развития фундаментальных наук

Анализ топографии поверхности оксинитридных покрытий титана методом атомной силовой микроскопии

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2014.— [С. 87-89]
Main Author: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Corporate Authors: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра иностранных языков физико-технического института (ИЯФТ)
Other Authors: Сыпченко В. С. Владимир Сергеевич (научный руководитель), Иванова Н. М., Пичугин В. Ф. Владимир Федорович, Петрашова Т. Г. Тамара Георгиевна
Summary:Заглавие с экрана
In this paper we investigate the surface topography of coatings based on oxides and dioxins-titanium hydrides obtained by reactive sputtering, the analysis of roughness parameters, chemical composition and surface topography described.
Language:English
Published: 2014
Series:Физика
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
топография
оксинитридные покрытия
атомная микроскопия
титан
силовая микроскопия
Online Access:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/021.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=606739
Description
Physical Description:1 файл(421 Кб)
Summary:Заглавие с экрана
In this paper we investigate the surface topography of coatings based on oxides and dioxins-titanium hydrides obtained by reactive sputtering, the analysis of roughness parameters, chemical composition and surface topography described.

Similar Items