Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук

Podrobná bibliografie
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 1020-1022]
Hlavní autor: Шаронова А. А. Анна Александровна
Korporativní autor: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Další autoři: Иванова А. А. Анна Александровна (научный руководитель), Сурменева М. А. Мария Александровна, Сурменев Р. А. Роман Анатольевич
Shrnutí:Заглавие с экрана
Argentum-containing hydroxyapatite (Ag-HA) coatings with amorphous and crystalline structure have been deposited on the materials of medical implants by method of RF-magnetron sputtering. Phase composition and structure of the Ag-HA coatings have been investigated with respect of position specimens on the substrate holder with the help of X-ray diffraction analysis and SEM method.
Jazyk:ruština
Vydáno: 2013
Edice:У.М.Н.И.К.
Témata:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
тонкие пленки
распыление
распыление магнетронное
ВЧ-распыление
магнетроны
структура
On-line přístup:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/348.pdf
Médium: Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=604011
Popis
Fyzický popis:1 файл(590 Кб)
Shrnutí:Заглавие с экрана
Argentum-containing hydroxyapatite (Ag-HA) coatings with amorphous and crystalline structure have been deposited on the materials of medical implants by method of RF-magnetron sputtering. Phase composition and structure of the Ag-HA coatings have been investigated with respect of position specimens on the substrate holder with the help of X-ray diffraction analysis and SEM method.

Podobné jednotky