Изучение столкновительного распыления металлов в широком диапазоне начальных энергий падающих ионов; Перспективы развития фундаментальных наук
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 174-176] |
|---|---|
| 第一著者: | Рябкина К. С. |
| 団体著者: | Национальный исследовательский Томский политехнический университет |
| その他の著者: | Степанова О. М. Ольга Михайловна (научный руководитель) |
| 要約: | Заглавие с экрана The present work is devoted to investigation of collisional sputtering of metals under accelerated ions of initial energies from 10-2 to 103 keV. Sputtering yields are calculated by means of Sigmund theory expressions. Dependences of sputtering yield on ion initial energy, atomic number, and sublimation energy of a target material and ion incidence angle are studied. Maximum sputtering yield conditions are defined in the case of Ar+ and Xe+ ions. Sputtering yield is apt to grow for materials with sublimation energy of 1.5-2.4 eV. Materials with high melting temperature have lower sputtering yield. The sputtering yield maximum is observed at an ion incidence angle of 65-75°. |
| 言語: | ロシア語 |
| 出版事項: |
2013
|
| シリーズ: | Физика |
| 主題: | |
| オンライン・アクセス: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/055.pdf |
| フォーマット: | 電子媒体 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603625 |
類似資料
Начальная стадия обработки материалов потоком ионов двумя последовательными импульсами; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 2
著者:: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
出版事項: (2013)
著者:: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
出版事項: (2013)
Атомные столкновения и элементарные процессы в плазме
著者:: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
出版事項: (Москва, Атомиздат, 1968)
著者:: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
出版事項: (Москва, Атомиздат, 1968)
Эффективные сечения возбуждения атомов и ионов электронным ударом: Рекомендуемые справочные данные
出版事項: (Москва, Изд-во стандартов, 1989)
出版事項: (Москва, Изд-во стандартов, 1989)
Воздействие ускоренных ионов аргона на физическое распыление конструкционных материалов; Материаловедение; № 1
出版事項: (2002)
出版事項: (2002)
Энергии кластеров при ионном распылении металла; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 3
著者:: Матвеев В. И.
出版事項: (2004)
著者:: Матвеев В. И.
出版事項: (2004)
Газоразрядный источник ионов и получение углеродных слоёв осаждением паров и ионов углерода при прямом воздействии ионами плазмообразующего инертного газа; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
著者:: Семёнов А. П.
出版事項: (2011)
著者:: Семёнов А. П.
出版事項: (2011)
Атомные столкновения в газах и на поверхности твердого тела: [монография]
出版事項: (Ташкент, Фан, 1988)
出版事項: (Ташкент, Фан, 1988)
Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
著者:: Шаронова А. А. Анна Александровна
出版事項: (2013)
著者:: Шаронова А. А. Анна Александровна
出版事項: (2013)
Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов: диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 01.04.04, 01.04.01
著者:: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2006)
著者:: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
出版事項: (Томск, [Б. и.], 2006)
Столкновения электронов и ионов с атомами газа
著者:: Сена Л. А. Лев Аронович
出版事項: (Ленинград, Гостехиздат, 1948)
著者:: Сена Л. А. Лев Аронович
出版事項: (Ленинград, Гостехиздат, 1948)
Атомные и ионные столкновения на поверхности металла: пер. с англ.
著者:: Каминский М. Манфред
出版事項: (Москва, Мир, 1967)
著者:: Каминский М. Манфред
出版事項: (Москва, Мир, 1967)
Т. 1; Взаимодействие ионов с поверхностью. ВИП-2003
出版事項: (2003)
出版事項: (2003)
Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 01.04.04, 01.04.01
著者:: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
出版事項: (Москва, [Б. и.], 2007)
著者:: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
出版事項: (Москва, [Б. и.], 2007)
Столкновения быстрых многозарядных ионов с атомами и молекулами: монография
著者:: Матвеев В. И. Виктор Иванович
出版事項: (Архангельск, Изд-во САФУ, 2013)
著者:: Матвеев В. И. Виктор Иванович
出版事項: (Архангельск, Изд-во САФУ, 2013)
Ионы и возбужденные атомы в плазме
著者:: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
出版事項: (Москва, Атомиздат, 1974)
著者:: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
出版事項: (Москва, Атомиздат, 1974)
Сечения неупругих процессов при сттолкновениях релятивистских структурных тяжелых ионов с атомами; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 1
著者:: Матвеев В. И.
出版事項: (2003)
著者:: Матвеев В. И.
出版事項: (2003)
Обоснование начальных условий и характеристик переходного процесса при анализе вынужденных колебаний; Справочник. Инженерный журнал; № 1
著者:: Ходес И. В.
出版事項: (2005)
著者:: Ходес И. В.
出版事項: (2005)
Влияние начальных параметров парового контура на эффективность одноконтурной парогазовой установки; Современные техника и технологии; Т. 3
著者:: Орлов А. С.
出版事項: (2012)
著者:: Орлов А. С.
出版事項: (2012)
Ч. 1; X Всесоюзная конференция по физике электронных и атомных столкновений (X ВКЭАС)
出版事項: (1988)
出版事項: (1988)
Ионно-лучевая обработки внутренней поверхности отверстий из титана высокоинтенсивными пучками ионов алюминия; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
出版事項: (2022)
出版事項: (2022)
Измеритель мощности для установки высокочастотного катодного распыления; Приборы и техника эксперимента; № 1
著者:: Нагорный А. Г.
出版事項: (2003)
著者:: Нагорный А. Г.
出版事項: (2003)
Ч. 2; X Всесоюзная конференция по физике электронных и атомных столкновений (X ВКЭАС)
出版事項: (1988)
出版事項: (1988)
Сравнение радиационного воздействия на металлическую мишень ускоренных атомов и ионов; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
著者:: Прима А. И. Артем Игоревич
出版事項: (2020)
著者:: Прима А. И. Артем Игоревич
出版事項: (2020)
Heavy ion collisions: congresses 1984
出版事項: (New York, Plenum Press, 1986)
出版事項: (New York, Plenum Press, 1986)
Сечения возбуждения атомов и ионов электронами. Сводка формул и таблицы для определения сечений электрон- атомных столкновений и вероятностей радиационных переходов
著者:: Вайнштейн Л. А. Леонид Абрамович
出版事項: (Москва, Наука, 1973)
著者:: Вайнштейн Л. А. Леонид Абрамович
出版事項: (Москва, Наука, 1973)
Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
著者:: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
出版事項: (2014)
著者:: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
出版事項: (2014)
Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
著者:: Жукова М. А.
出版事項: (2007)
著者:: Жукова М. А.
出版事項: (2007)
Ч. 1; VII Всесоюзная конференция по физике электронных и атомных столкновений
出版事項: (1978)
出版事項: (1978)
Эффекты кварк-глюонной плазмы в столкновениях релятивистских ионов: учебное пособие
著者:: Коротких В. Л. Владимир Леонидович
出版事項: (Москва, КДУ, 2018)
著者:: Коротких В. Л. Владимир Леонидович
出版事項: (Москва, КДУ, 2018)
Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
著者:: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版事項: (2012)
著者:: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
出版事項: (2012)
Введение в теорию атомных столкновений
出版事項: (Львов, Выща школа, 1989)
出版事項: (Львов, Выща школа, 1989)
Общие проблемы физики столкновений. Столкновения атомных частиц: курс лекций
出版事項: (Петрозаводск, Изд-во ПетрГУ, 1984)
出版事項: (Петрозаводск, Изд-во ПетрГУ, 1984)
VIII Всесоюзная конференция по физике электронных и атомных столкновений (VIII ВКЭАС), Ленинград, 29 сентября - 2 октября 1981 г.
出版事項: (Ленинград, Изд-во ЛИЯФ, 1982)
出版事項: (Ленинград, Изд-во ЛИЯФ, 1982)
Changes in the Spectral Characteristics of Aluminum Films Deposited under Assisting Argon Ion Beam; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
出版事項: (2015)
出版事項: (2015)
Исследование характеристик распыления композитного топлива; Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований; № 9
著者:: Янковский С. А. Станислав Александрович
出版事項: (2022)
著者:: Янковский С. А. Станислав Александрович
出版事項: (2022)
The collisions of droplets and particles at the different initial temperatures; International Journal of Heat and Mass Transfer; Vol. 196
出版事項: (2022)
出版事項: (2022)
Асимпотические методы в теории атомных столкновений
著者:: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
出版事項: (Москва, Атомиздат, 1973)
著者:: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
出版事項: (Москва, Атомиздат, 1973)
Флуктуационно-диссипативная модель для описания процесса захвата при надбарьерных столкновениях сферических ядер: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.16
著者:: Чушнякова М. В. Мария Владимировна
出版事項: (Томск, 2014)
著者:: Чушнякова М. В. Мария Владимировна
出版事項: (Томск, 2014)
Сравнительный анализ методов расчета значений начальных сопротивлений цепи электрод-электрод при контактной точечной сварке; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 2: Математика и механика. Физика
著者:: Слободян М. С. Михаил Степанович
出版事項: (2009)
著者:: Слободян М. С. Михаил Степанович
出版事項: (2009)
Отрицательные ионы
著者:: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
出版事項: (Москва, Атомиздат, 1978)
著者:: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
出版事項: (Москва, Атомиздат, 1978)
類似資料
-
Начальная стадия обработки материалов потоком ионов двумя последовательными импульсами; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 2
著者:: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
出版事項: (2013) -
Атомные столкновения и элементарные процессы в плазме
著者:: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
出版事項: (Москва, Атомиздат, 1968) -
Эффективные сечения возбуждения атомов и ионов электронным ударом: Рекомендуемые справочные данные
出版事項: (Москва, Изд-во стандартов, 1989) -
Воздействие ускоренных ионов аргона на физическое распыление конструкционных материалов; Материаловедение; № 1
出版事項: (2002) -
Энергии кластеров при ионном распылении металла; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 3
著者:: Матвеев В. И.
出版事項: (2004)