Изучение столкновительного распыления металлов в широком диапазоне начальных энергий падающих ионов; Перспективы развития фундаментальных наук

Изучение столкновительного распыления металлов в широком диапазоне начальных энергий падающих ионов; Перспективы развития фундаментальных наук

Dades bibliogràfiques
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 174-176]
Autor principal:	Рябкина К. С.
Autor corporatiu:	Томский политехнический университет
Altres autors:	Степанова О. М. Ольга Михайловна (научный руководитель)
Sumari:	Заглавие с экрана The present work is devoted to investigation of collisional sputtering of metals under accelerated ions of initial energies from 10-2 to 103 keV. Sputtering yields are calculated by means of Sigmund theory expressions. Dependences of sputtering yield on ion initial energy, atomic number, and sublimation energy of a target material and ion incidence angle are studied. Maximum sputtering yield conditions are defined in the case of Ar+ and Xe+ ions. Sputtering yield is apt to grow for materials with sublimation energy of 1.5-2.4 eV. Materials with high melting temperature have lower sputtering yield. The sputtering yield maximum is observed at an ion incidence angle of 65-75°.
Idioma:	rus
Publicat:	2013
Col·lecció:	Физика
Matèries:	электронный ресурс труды учёных ТПУ столкновения распыление металлы начальные условия энергия падение ионы
Accés en línia:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/055.pdf
Format:	Electrònic Capítol de llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603625

Ítems similars

Начальная стадия обработки материалов потоком ионов двумя последовательными импульсами; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 2
per: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
Publicat: (2013)

Атомные столкновения и элементарные процессы в плазме
per: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
Publicat: (Москва, Атомиздат, 1968)

Эффективные сечения возбуждения атомов и ионов электронным ударом: Рекомендуемые справочные данные
Publicat: (Москва, Изд-во стандартов, 1989)

Воздействие ускоренных ионов аргона на физическое распыление конструкционных материалов; Материаловедение; № 1
Publicat: (2002)

Энергии кластеров при ионном распылении металла; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 3
per: Матвеев В. И.
Publicat: (2004)

Газоразрядный источник ионов и получение углеродных слоёв осаждением паров и ионов углерода при прямом воздействии ионами плазмообразующего инертного газа; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
per: Семёнов А. П.
Publicat: (2011)

Обоснование начальных условий и характеристик переходного процесса при анализе вынужденных колебаний; Справочник. Инженерный журнал; № 1
per: Ходес И. В.
Publicat: (2005)

Столкновения электронов и ионов с атомами газа
per: Сена Л. А. Лев Аронович
Publicat: (Ленинград, Гостехиздат, 1948)

Атомные столкновения в газах и на поверхности твердого тела: [монография]
Publicat: (Ташкент, Фан, 1988)

Атомные и ионные столкновения на поверхности металла: пер. с англ.
per: Каминский М. Манфред
Publicat: (Москва, Мир, 1967)

Влияние начальных параметров парового контура на эффективность одноконтурной парогазовой установки; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Орлов А. С.
Publicat: (2012)

Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов: диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 01.04.04, 01.04.01
per: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Publicat: (Томск, [Б. и.], 2006)

Столкновения быстрых многозарядных ионов с атомами и молекулами: монография
per: Матвеев В. И. Виктор Иванович
Publicat: (Архангельск, Изд-во САФУ, 2013)

Сечения неупругих процессов при сттолкновениях релятивистских структурных тяжелых ионов с атомами; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 1
per: Матвеев В. И.
Publicat: (2003)

Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 01.04.04, 01.04.01
per: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Publicat: (Москва, [Б. и.], 2007)

Ионы и возбужденные атомы в плазме
per: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
Publicat: (Москва, Атомиздат, 1974)

Дизайн и эргономика цифровой образовательной среды для учеников начальных классов; Молодежь и современные информационные технологии
per: Плещинская А. И.
Publicat: (2026)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Шаронова А. А. Анна Александровна
Publicat: (2013)

Ч. 1; X Всесоюзная конференция по физике электронных и атомных столкновений (X ВКЭАС)
Publicat: (1988)

Основы физики плазмы учебное пособие для вузов
per: Голант В. Е.
Publicat: (Санкт-Петербург, Лань, 2026)

Ч. 2; X Всесоюзная конференция по физике электронных и атомных столкновений (X ВКЭАС)
Publicat: (1988)

Сравнение радиационного воздействия на металлическую мишень ускоренных атомов и ионов; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
per: Прима А. И. Артем Игоревич
Publicat: (2020)

Сечения возбуждения атомов и ионов электронами. Сводка формул и таблицы для определения сечений электрон- атомных столкновений и вероятностей радиационных переходов
per: Вайнштейн Л. А. Леонид Абрамович
Publicat: (Москва, Наука, 1973)

Heavy ion collisions: congresses 1984
Publicat: (New York, Plenum Press, 1986)

Ионно-лучевая обработки внутренней поверхности отверстий из титана высокоинтенсивными пучками ионов алюминия; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
Publicat: (2022)

Измеритель мощности для установки высокочастотного катодного распыления; Приборы и техника эксперимента; № 1
per: Нагорный А. Г.
Publicat: (2003)

Ч. 1; VII Всесоюзная конференция по физике электронных и атомных столкновений
Publicat: (1978)

Эффекты кварк-глюонной плазмы в столкновениях релятивистских ионов: учебное пособие
per: Коротких В. Л. Владимир Леонидович
Publicat: (Москва, КДУ, 2018)

Введение в теорию атомных столкновений
Publicat: (Львов, Выща школа, 1989)

VIII Всесоюзная конференция по физике электронных и атомных столкновений (VIII ВКЭАС), Ленинград, 29 сентября - 2 октября 1981 г.
Publicat: (Ленинград, Изд-во ЛИЯФ, 1982)

Общие проблемы физики столкновений. Столкновения атомных частиц: курс лекций
Publicat: (Петрозаводск, Изд-во ПетрГУ, 1984)

Сравнительный анализ методов расчета значений начальных сопротивлений цепи электрод-электрод при контактной точечной сварке; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 2: Математика и механика. Физика
per: Слободян М. С. Михаил Степанович
Publicat: (2009)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
per: Жукова М. А.
Publicat: (2007)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
Publicat: (2014)

Асимпотические методы в теории атомных столкновений
per: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
Publicat: (Москва, Атомиздат, 1973)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
per: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Publicat: (2012)

The collisions of droplets and particles at the different initial temperatures; International Journal of Heat and Mass Transfer; Vol. 196
Publicat: (2022)

Флуктуационно-диссипативная модель для описания процесса захвата при надбарьерных столкновениях сферических ядер: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.16
per: Чушнякова М. В. Мария Владимировна
Publicat: (Томск, 2014)

Отрицательные ионы
per: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
Publicat: (Москва, Атомиздат, 1978)

Процессы переноса энергии в парах металлов: сборник научных трудов
Publicat: (Рига, Изд-во ЛГУ, 1985)