Изучение столкновительного распыления металлов в широком диапазоне начальных энергий падающих ионов; Перспективы развития фундаментальных наук

Изучение столкновительного распыления металлов в широком диапазоне начальных энергий падающих ионов; Перспективы развития фундаментальных наук

التفاصيل البيبلوغرافية
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 174-176]
المؤلف الرئيسي:	Рябкина К. С.
مؤلف مشترك:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
مؤلفون آخرون:	Степанова О. М. Ольга Михайловна (научный руководитель)
الملخص:	Заглавие с экрана The present work is devoted to investigation of collisional sputtering of metals under accelerated ions of initial energies from 10-2 to 103 keV. Sputtering yields are calculated by means of Sigmund theory expressions. Dependences of sputtering yield on ion initial energy, atomic number, and sublimation energy of a target material and ion incidence angle are studied. Maximum sputtering yield conditions are defined in the case of Ar+ and Xe+ ions. Sputtering yield is apt to grow for materials with sublimation energy of 1.5-2.4 eV. Materials with high melting temperature have lower sputtering yield. The sputtering yield maximum is observed at an ion incidence angle of 65-75°.
اللغة:	الروسية
منشور في:	2013
سلاسل:	Физика
الموضوعات:	электронный ресурс труды учёных ТПУ столкновения распыление металлы начальные условия энергия падение ионы
الوصول للمادة أونلاين:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/055.pdf
التنسيق:	الكتروني فصل الكتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603625

مواد مشابهة

Начальная стадия обработки материалов потоком ионов двумя последовательными импульсами; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 2
حسب: Парфёнова Е. С. Елена Сергеевна
منشور في: (2013)

Атомные столкновения и элементарные процессы в плазме
حسب: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
منشور في: (Москва, Атомиздат, 1968)

Эффективные сечения возбуждения атомов и ионов электронным ударом: Рекомендуемые справочные данные
منشور في: (Москва, Изд-во стандартов, 1989)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок; Перспективы развития фундаментальных наук
حسب: Шаронова А. А. Анна Александровна
منشور في: (2013)

Воздействие ускоренных ионов аргона на физическое распыление конструкционных материалов; Материаловедение; № 1
منشور في: (2002)

Газоразрядный источник ионов и получение углеродных слоёв осаждением паров и ионов углерода при прямом воздействии ионами плазмообразующего инертного газа; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/3 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
حسب: Семёнов А. П.
منشور في: (2011)

Атомные столкновения в газах и на поверхности твердого тела: [монография]
منشور في: (Ташкент, Фан, 1988)

Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов: диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 01.04.04, 01.04.01
حسب: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
منشور في: (Томск, [Б. и.], 2006)

Энергии кластеров при ионном распылении металла; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 3
حسب: Матвеев В. И.
منشور في: (2004)

Столкновения электронов и ионов с атомами газа
حسب: Сена Л. А. Лев Аронович
منشور في: (Ленинград, Гостехиздат, 1948)

Процессы при ионном распылении поверхности твердых тел и энерго-масс-спектрометрия вторичных ионов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук; спец. 01.04.04, 01.04.01
حسب: Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
منشور في: (Москва, [Б. и.], 2007)

Атомные и ионные столкновения на поверхности металла: пер. с англ.
حسب: Каминский М. Манфред
منشور في: (Москва, Мир, 1967)

Столкновения быстрых многозарядных ионов с атомами и молекулами: монография
حسب: Матвеев В. И. Виктор Иванович
منشور في: (Архангельск, Изд-во САФУ, 2013)

Сечения неупругих процессов при сттолкновениях релятивистских структурных тяжелых ионов с атомами; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 1
حسب: Матвеев В. И.
منشور في: (2003)

Ионы и возбужденные атомы в плазме
حسب: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
منشور في: (Москва, Атомиздат, 1974)

Морфология поверхности покрытий оксидов и/или оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
حسب: Арышева Г. В. Галина Владиславовна
منشور في: (2014)

Ионно-лучевая обработки внутренней поверхности отверстий из титана высокоинтенсивными пучками ионов алюминия; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE); International Conference on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows (16th CMM)
منشور في: (2022)

Измеритель мощности для установки высокочастотного катодного распыления; Приборы и техника эксперимента; № 1
حسب: Нагорный А. Г.
منشور في: (2003)

Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
حسب: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
منشور في: (2012)

Ч. 1; X Всесоюзная конференция по физике электронных и атомных столкновений (X ВКЭАС)
منشور في: (1988)

Обоснование начальных условий и характеристик переходного процесса при анализе вынужденных колебаний; Справочник. Инженерный журнал; № 1
حسب: Ходес И. В.
منشور في: (2005)

Исследование характеристик распыления композитного топлива; Международный журнал прикладных и фундаментальных исследований; № 9
حسب: Янковский С. А. Станислав Александрович
منشور في: (2022)

Влияние начальных параметров парового контура на эффективность одноконтурной парогазовой установки; Современные техника и технологии; Т. 3
حسب: Орлов А. С.
منشور في: (2012)

Ч. 2; X Всесоюзная конференция по физике электронных и атомных столкновений (X ВКЭАС)
منشور في: (1988)

Сравнение радиационного воздействия на металлическую мишень ускоренных атомов и ионов; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
حسب: Прима А. И. Артем Игоревич
منشور في: (2020)

Heavy ion collisions: congresses 1984
منشور في: (New York, Plenum Press, 1986)

Сечения возбуждения атомов и ионов электронами. Сводка формул и таблицы для определения сечений электрон- атомных столкновений и вероятностей радиационных переходов
حسب: Вайнштейн Л. А. Леонид Абрамович
منشور في: (Москва, Наука, 1973)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
حسب: Жукова М. А.
منشور في: (2007)

Эффекты кварк-глюонной плазмы в столкновениях релятивистских ионов: учебное пособие
حسب: Коротких В. Л. Владимир Леонидович
منشور في: (Москва, КДУ, 2018)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
حسب: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
منشور في: (2009)

Ч. 1; VII Всесоюзная конференция по физике электронных и атомных столкновений
منشور في: (1978)

Введение в теорию атомных столкновений
منشور في: (Львов, Выща школа, 1989)

Changes in the Spectral Characteristics of Aluminum Films Deposited under Assisting Argon Ion Beam; Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science; Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)
منشور في: (2015)

VIII Всесоюзная конференция по физике электронных и атомных столкновений (VIII ВКЭАС), Ленинград, 29 сентября - 2 октября 1981 г.
منشور في: (Ленинград, Изд-во ЛИЯФ, 1982)

Общие проблемы физики столкновений. Столкновения атомных частиц: курс лекций
منشور في: (Петрозаводск, Изд-во ПетрГУ, 1984)

The collisions of droplets and particles at the different initial temperatures; International Journal of Heat and Mass Transfer; Vol. 196
منشور في: (2022)

Исследование элементного состава кальций-фосфатных покрытий, нанесённых методом ВЧ-магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
منشور في: (2008)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
حسب: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
منشور في: (2009)

Растворение in vitro, структурные и электрокинетические характеристики оксинитридных покрытий титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
منشور في: (2016)

Асимпотические методы в теории атомных столкновений
حسب: Смирнов Б. М. Борис Михайлович
منشور في: (Москва, Атомиздат, 1973)