|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
603625 |
| 005 |
20260715071626.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\821
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\816
|
| 090 |
|
|
|a 603625
|
| 100 |
|
|
|a 20140129d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Изучение столкновительного распыления металлов в широком диапазоне начальных энергий падающих ионов
|d Study on collisional sputtering of metals in a wide range of initial energies of falling ions
|f К. С. Рябкина
|g науч. рук. О. М. Степанова
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл(621 Кб)
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 176 (4 назв.)]
|
| 330 |
|
|
|a The present work is devoted to investigation of collisional sputtering of metals under accelerated ions of initial energies from 10-2 to 103 keV. Sputtering yields are calculated by means of Sigmund theory expressions. Dependences of sputtering yield on ion initial energy, atomic number, and sublimation energy of a target material and ion incidence angle are studied. Maximum sputtering yield conditions are defined in the case of Ar+ and Xe+ ions. Sputtering yield is apt to grow for materials with sublimation energy of 1.5-2.4 eV. Materials with high melting temperature have lower sputtering yield. The sputtering yield maximum is observed at an ion incidence angle of 65-75°.
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\715
|t Перспективы развития фундаментальных наук
|l Prospects of fundamental sciences development
|o сборник научных трудов X Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2013 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; ред. коллегия Е. А. Вайтулевич ; Г. А. Лямина ; Г. А. Воронова ; М. Е. Семенов ; А. В. Устинов ; Н. С. Пушилина
|v [С. 174-176]
|d 2013
|
| 510 |
1 |
|
|a Study on collisional sputtering of metals in a wide range of initial energies of falling ions
|z eng
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a столкновения
|
| 610 |
1 |
|
|a распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a металлы
|
| 610 |
1 |
|
|a начальные условия
|
| 610 |
1 |
|
|a энергия
|
| 610 |
1 |
|
|a падение
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы
|
| 700 |
|
1 |
|a Рябкина
|b К. С.
|
| 702 |
|
1 |
|a Степанова
|b О. М.
|c специалист в области атомной энергетики
|c старший научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1982-
|g Ольга Михайловна
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический университет
|c 1991-
|7 ca
|8 rus
|9 26305
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101016
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20230323
|g RCR
|
| 850 |
|
|
|a 63413507
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/055.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
