Накопление микрочастиц вакуумной дуги на потенциальной мишени при короткоимпульсном высокочастотном потенциале смещения; Перспективы развития фундаментальных наук

Библиографические подробности
Источник:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 47-49]
Главный автор: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Автор-организация: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22
Другие авторы: Сивин Д. О. Денис Олегович (научный руководитель), Рябчиков А. И. Александр Ильич
Примечания:Заглавие с экрана
The experimental results of the research of decreasing the macroparticles density on a substrate immersed in the vacuum-arc metal plasma with a high-frequency short-pulse negative bias potential are submitted. It was found out that the macroparticles density on the sample surface is determined by the bias potential amplitude, pulse duration and the processing time.
Язык:русский
Опубликовано: 2013
Серии:Физика
Предметы:
Online-ссылка:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/010.pdf
Формат: Электронный ресурс Статья
Запись в KOHA:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603530

Схожие документы