Накопление микрочастиц вакуумной дуги на потенциальной мишени при короткоимпульсном высокочастотном потенциале смещения; Перспективы развития фундаментальных наук

Detaylı Bibliyografya
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 47-49]
Yazar:	Бумагина А. И. Анна Ивановна
Müşterek Yazar:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22
Diğer Yazarlar:	Сивин Д. О. Денис Олегович (научный руководитель), Рябчиков А. И. Александр Ильич
Özet:	Заглавие с экрана The experimental results of the research of decreasing the macroparticles density on a substrate immersed in the vacuum-arc metal plasma with a high-frequency short-pulse negative bias potential are submitted. It was found out that the macroparticles density on the sample surface is determined by the bias potential amplitude, pulse duration and the processing time.
Dil:	Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi:	2013
Seri Bilgileri:	Физика
Konular:	электронный ресурс труды учёных ТПУ накопление микрочастицы импульсные воздействия высокочастотный метод смещение
Online Erişim:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/010.pdf
Materyal Türü:	MixedMaterials Elektronik Kitap Bölümü
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603530

Internet