Накопление микрочастиц вакуумной дуги на потенциальной мишени при короткоимпульсном высокочастотном потенциале смещения; Перспективы развития фундаментальных наук
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 47-49] |
|---|---|
| Huvudupphovsman: | |
| Institutionell upphovsman: | |
| Övriga upphovsmän: | , |
| Sammanfattning: | Заглавие с экрана The experimental results of the research of decreasing the macroparticles density on a substrate immersed in the vacuum-arc metal plasma with a high-frequency short-pulse negative bias potential are submitted. It was found out that the macroparticles density on the sample surface is determined by the bias potential amplitude, pulse duration and the processing time. |
| Språk: | ryska |
| Publicerad: |
2013
|
| Serie: | Физика |
| Ämnen: | |
| Länkar: | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/010.pdf |
| Materialtyp: | Elektronisk Bokavsnitt |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603530 |