Накопление микрочастиц вакуумной дуги на потенциальной мишени при короткоимпульсном высокочастотном потенциале смещения; Перспективы развития фундаментальных наук

Podrobná bibliografie
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 47-49]
Hlavní autor:	Бумагина А. И. Анна Ивановна
Korporativní autor:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22
Další autoři:	Сивин Д. О. Денис Олегович (научный руководитель), Рябчиков А. И. Александр Ильич
Shrnutí:	Заглавие с экрана The experimental results of the research of decreasing the macroparticles density on a substrate immersed in the vacuum-arc metal plasma with a high-frequency short-pulse negative bias potential are submitted. It was found out that the macroparticles density on the sample surface is determined by the bias potential amplitude, pulse duration and the processing time.
Jazyk:	ruština
Vydáno:	2013
Edice:	Физика
Témata:	электронный ресурс труды учёных ТПУ накопление микрочастицы импульсные воздействия высокочастотный метод смещение
On-line přístup:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/010.pdf
Médium:	xMaterials Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603530

Internet