Накопление микрочастиц вакуумной дуги на потенциальной мишени при короткоимпульсном высокочастотном потенциале смещения; Перспективы развития фундаментальных наук

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук.— 2013.— [С. 47-49]
Main Author: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22
Other Authors: Сивин Д. О. Денис Олегович (научный руководитель), Рябчиков А. И. Александр Ильич
Summary:Заглавие с экрана
The experimental results of the research of decreasing the macroparticles density on a substrate immersed in the vacuum-arc metal plasma with a high-frequency short-pulse negative bias potential are submitted. It was found out that the macroparticles density on the sample surface is determined by the bias potential amplitude, pulse duration and the processing time.
Language:Russian
Published: 2013
Series:Физика
Subjects:
Online Access:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/010.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603530

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 603530
005 20260209164855.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\conf\725 
035 |a RU\TPU\conf\720 
090 |a 603530 
100 |a 20140122d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
135 |a drcn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Накопление микрочастиц вакуумной дуги на потенциальной мишени при короткоимпульсном высокочастотном потенциале смещения  |d Vacuum arc microparticles accumulation on the potential target at short-pulsed high-frequency biasing  |f А. И. Бумагина, Д. О. Сивин  |g науч. рук. А. И. Рябчиков 
203 |a Текст  |c электронный 
215 |a 1 файл(346 Кб) 
225 1 |a Физика 
300 |a Заглавие с экрана 
320 |a [Библиогр.: с. 49 (4 назв.)] 
330 |a The experimental results of the research of decreasing the macroparticles density on a substrate immersed in the vacuum-arc metal plasma with a high-frequency short-pulse negative bias potential are submitted. It was found out that the macroparticles density on the sample surface is determined by the bias potential amplitude, pulse duration and the processing time. 
337 |a Adobe Reader 
463 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\715  |t Перспективы развития фундаментальных наук  |l Prospects of fundamental sciences development  |o сборник научных трудов X Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2013 г.  |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Е. А. Вайтулевич и др.  |v [С. 47-49]  |d 2013 
510 1 |a Vacuum arc microparticles accumulation on the potential target at short-pulsed high-frequency biasing  |z eng 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a накопление 
610 1 |a микрочастицы 
610 1 |a импульсные воздействия 
610 1 |a высокочастотный метод 
610 1 |a смещение 
700 1 |a Бумагина  |b А. И.  |c физик  |c младший научный сотрудник Томского политехнического университета  |f 1987-  |g Анна Ивановна  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32439  |9 16388 
701 1 |a Сивин  |b Д. О.  |c специалист в области физики плазмы  |c младший научный сотрудник Томского политехнического университета  |f 1978-  |g Денис Олегович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26465 
702 1 |a Рябчиков  |b А. И.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1950-  |g Александр Ильич  |4 727 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |b Лаборатория № 22  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19225 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20101016 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20230323  |g RCR 
856 4 |u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/010.pdf 
942 |c CF