|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
603530 |
| 005 |
20231220121351.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\725
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\720
|
| 090 |
|
|
|a 603530
|
| 100 |
|
|
|a 20140122d2013 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Накопление микрочастиц вакуумной дуги на потенциальной мишени при короткоимпульсном высокочастотном потенциале смещения
|d Vacuum arc microparticles accumulation on the potential target at short-pulsed high-frequency biasing
|f А. И. Бумагина, Д. О. Сивин
|g науч. рук. А. И. Рябчиков
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл(346 Кб)
|
| 225 |
1 |
|
|a Физика
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 49 (4 назв.)]
|
| 330 |
|
|
|a The experimental results of the research of decreasing the macroparticles density on a substrate immersed in the vacuum-arc metal plasma with a high-frequency short-pulse negative bias potential are submitted. It was found out that the macroparticles density on the sample surface is determined by the bias potential amplitude, pulse duration and the processing time.
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\715
|t Перспективы развития фундаментальных наук
|l Prospects of fundamental sciences development
|o сборник научных трудов X Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2013 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. Е. А. Вайтулевич и др.
|v [С. 47-49]
|d 2013
|
| 510 |
1 |
|
|a Vacuum arc microparticles accumulation on the potential target at short-pulsed high-frequency biasing
|z eng
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a накопление
|
| 610 |
1 |
|
|a микрочастицы
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсные воздействия
|
| 610 |
1 |
|
|a высокочастотный метод
|
| 610 |
1 |
|
|a смещение
|
| 700 |
|
1 |
|a Бумагина
|b А. И.
|c физик
|c младший научный сотрудник Томского политехнического университета
|f 1987-
|g Анна Ивановна
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32439
|9 16388
|
| 701 |
|
1 |
|a Сивин
|b Д. О.
|c специалист в области физики плазмы
|c младший научный сотрудник Томского политехнического университета
|f 1978-
|g Денис Олегович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26465
|
| 702 |
|
1 |
|a Рябчиков
|b А. И.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1950-
|g Александр Ильич
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Физико-технический институт (ФТИ)
|b Лаборатория № 22
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19225
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20101016
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20230323
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C21/010.pdf
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
