Влияние температур подложки и испарителя на структуру, фазовый и элементный составы, магнитные и электрические свойства пленок кобальта, полученных методом химического осаждения из газовой фазы

Bibliographic Details
Parent link:Современные проблемы машиностроения: сборник научных трудов VII Международной научно-технической конференции, г. Томск, 11-13 ноября 2013 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ); под ред. Ан И-Кан и др.. [С. 139-144].— , 2013
Main Author: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Other Authors: Доровских С. И.
Summary:Заглавие с экрана
Language:Russian
Published: 2013
Series:Материаловедение в машиностроении
Subjects:
Online Access:http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C45/035.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603333

Similar Items