Влияние температур подложки и испарителя на структуру, фазовый и элементный составы, магнитные и электрические свойства пленок кобальта, полученных методом химического осаждения из газовой фазы

Бібліографічні деталі
Parent link:	Современные проблемы машиностроения: сборник научных трудов VII Международной научно-технической конференции, г. Томск, 11-13 ноября 2013 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ); под ред. Ан И-Кан и др.. [С. 139-144].— , 2013
Автор:	Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Інші автори:	Доровских С. И.
Резюме:	Заглавие с экрана
Мова:	Російська
Опубліковано:	2013
Серія:	Материаловедение в машиностроении
Предмети:	электронный ресурс труды учёных ТПУ подложки испарители фазовые составы элементный состав магнитные свойства электрические свойства кобальт химическое осаждение
Онлайн доступ:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2013/C45/035.pdf
Формат:	Електронний ресурс Частина з книги
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=603333

Опис
Фізичний опис:	1 файл(2.4 Mb)
Резюме:	Заглавие с экрана

Схожі ресурси