|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
60179 |
| 005 |
20231101211850.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\63645
|
| 090 |
|
|
|a 60179
|
| 100 |
|
|
|a 20040203d1980 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Ионная имплантация в полупроводики и другие материалы
|e сборник статей
|e пер. с англ.
|f под ред. В. С. Василова
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Мир
|d 1980
|
| 215 |
|
|
|a 331 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Новости физики твердого тела
|v Вып. 10
|
| 300 |
|
|
|a Доп.тит. лист
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 328-330.
|
| 606 |
1 |
|
|a Ионная имплантация
|x (физика твердого тела)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\13073
|9 39750
|
| 610 |
1 |
|
|a физика
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковая физика
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a материаловедение
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a сборники
|
| 675 |
|
|
|a 539.2:539.1
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Василов
|b В. С.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040203
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20210827
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
