Ионная имплантация в полупроводики и другие материалы: сборник статей; пер. с англ.

Dades bibliogràfiques
Altres autors:	Василов В. С. (редактор)
Sumari:	Доп.тит. лист
Idioma:	rus
Publicat:	Москва, Мир, 1980
Col·lecció:	Новости физики твердого тела Вып. 10
Matèries:	Ионная имплантация > (физика твердого тела) физика полупроводниковая физика микроэлектроника материаловедение ионная имплантация твердые тела сборники
Format:	Llibre
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=60179

Descripció
Descripció física:	331 с. ил.
Sumari:	Доп.тит. лист

Ítems similars