Магнетронная распылительная система

Podrobná bibliografie
Korporativní autor: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
Další autoři: Жуков В. В., Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Янин С. Н. Сергей Николаевич
Shrnutí:заявл. 12.04.2002
В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Jazyk:ruština
Vydáno:
Témata:
Médium: xMaterials Kniha
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=601361

MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 601361
005 20240212104856.0
029 1 0 |a RU  |b 2220226  |c Пат.  |d МКИ C23C14/35 
035 |a (RuTPU)RU\TPU\tpu\26133 
035 |a RU\TPU\tpu\25796 
039 0 |a RU  |b 2011100318/07  |c 20110111 
090 |a 601361 
100 |a 20141120j20032712k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a k 000zy 
200 1 |a Магнетронная распылительная система  |f В. В. Жуков, В. П. Кривобоков, С. Н. Янин  |g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) 
300 |a заявл. 12.04.2002 
333 |a В фонде НТБ ТПУ отсутствует 
610 1 |a патенты 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
701 1 |a Жуков  |b В. В. 
701 1 |a Кривобоков  |b В. П.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1948-  |g Валерий Павлович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971  |9 9290 
701 1 |a Янин  |b С. Н.  |c физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1958-  |g Сергей Николаевич  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30792  |9 15048 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |c (2009- )  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\15902 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20120201 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20200923  |g RCR 
942 |c BK