Получение тонких пленок Ni и Co методом плазмохимического осаждения
Parent link: | Лазерная физика, наноструктуры, квантовая микроскопия: материалы международной молодежной конференции в рамках фестиваля науки, Томск, Россия, 17-18 сентября 2012 г.. С. 65-69.— , 2012 |
---|---|
Автор: | |
Інші автори: | |
Резюме: | В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
Мова: | Російська |
Опубліковано: |
2012
|
Предмети: | |
Формат: | Частина з книги |
KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=601255 |