Получение тонких пленок Ni и Co методом плазмохимического осаждения
Parent link: | Лазерная физика, наноструктуры, квантовая микроскопия: материалы международной молодежной конференции в рамках фестиваля науки, Томск, Россия, 17-18 сентября 2012 г.. С. 65-69.— , 2012 |
---|---|
Главный автор: | |
Другие авторы: | |
Примечания: | В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
Язык: | русский |
Опубликовано: |
2012
|
Предметы: | |
Формат: | Статья |
KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=601255 |