Получение тонких пленок Ni и Co методом плазмохимического осаждения

Bibliographische Detailangaben
Parent link:Лазерная физика, наноструктуры, квантовая микроскопия: материалы международной молодежной конференции в рамках фестиваля науки, Томск, Россия, 17-18 сентября 2012 г.. С. 65-69.— , 2012
1. Verfasser: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Weitere Verfasser: Доровских С. И.
Zusammenfassung:В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: 2012
Schlagworte:
Format: Buchkapitel
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=601255

MARC

LEADER 00000naa0a2200000 4500
001 601255
005 20250213124201.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\tpu\25977 
090 |a 601255 
100 |a 20141029d2012 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
200 1 |a Получение тонких пленок Ni и Co методом плазмохимического осаждения  |d Formation of Ni and Co thin films by chemical vapor deposition  |f Р. Р. Хайруллин, С. И. Доровских 
333 |a В фонде НТБ ТПУ отсутствует 
463 |t Лазерная физика, наноструктуры, квантовая микроскопия  |o материалы международной молодежной конференции в рамках фестиваля науки, Томск, Россия, 17-18 сентября 2012 г.  |v С. 65-69  |d 2012 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
700 1 |a Хайруллин  |b Р. Р.  |c специалист в области материаловедения  |c инженер Томского политехнического университета  |f 1992-  |g Рустам Равильевич  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32861 
701 1 |a Доровских  |b С. И. 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20141029 
942 |c BK