Характеристики тонкопленочных фуллереновых покрытий, осаждаемых при различных условиях с помощью мощных ионных пучков

Характеристики тонкопленочных фуллереновых покрытий, осаждаемых при различных условиях с помощью мощных ионных пучков

Détails bibliographiques
Parent link:Взаимодействие излучений с твердым телом.— 2007.— С. 265-267
Autres auteurs: Петров А. В. Александр Васильевич, Рябчиков А. И. Александр Ильич, Струц В. К., Усов Ю. П. Юрий Петрович, Ренк Т. Дж.
Résumé:Формирование тонкопленочных содержащих фуллерены C[60] и С[70] углеродных покрытий проводилось осаждением на кремниевые подложки абляционной плазмы, генерируемой при воздействии импульсных мощных ионных пучков (МИП) на графитовые мишени различной плотности. Измерены нанотвердость и модуль Юнга покрытий, адгезия покрытий к монокристаллической кремниевой подложке, коэффициент трения и шероховатость поверхности покрытий при различных условиях их осаждения. На указанные характеристики покрытий влияют как плотность энергии падающего на мишень ионного пучка, определяющая плотность и температуру абляционной плазмы, так и темп осаждения покрытия, т. е. толщина пленки, осаждаемой за один импульс ионного тока. Для покрытий, осажденных при большой плотности мощности ионного пучка, наблюдаются повышенные значения нанотвердости и модуля Юнга. Величина адгезии мала при большом темпе осаждения покрытия. Коэффициент трения, как правило, тем меньше, чем больше шероховатость
В фонде НТБ ТПУ отсутствует
Langue:russe
Publié: 2007
Sujets:
труды учёных ТПУ
Format: Chapitre de livre
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599385

Documents similaires

Documents similaires