|
|
|
|
| LEADER |
00000naa0a2200000 4500 |
| 001 |
599385 |
| 005 |
20250417084226.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\tpu\23405
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\tpu\23385
|
| 090 |
|
|
|a 599385
|
| 100 |
|
|
|a 20130628d2007 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Характеристики тонкопленочных фуллереновых покрытий, осаждаемых при различных условиях с помощью мощных ионных пучков
|f А. В. Петров [и др.]
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 11 назв.
|
| 330 |
|
|
|a Формирование тонкопленочных содержащих фуллерены C[60] и С[70] углеродных покрытий проводилось осаждением на кремниевые подложки абляционной плазмы, генерируемой при воздействии импульсных мощных ионных пучков (МИП) на графитовые мишени различной плотности. Измерены нанотвердость и модуль Юнга покрытий, адгезия покрытий к монокристаллической кремниевой подложке, коэффициент трения и шероховатость поверхности покрытий при различных условиях их осаждения. На указанные характеристики покрытий влияют как плотность энергии падающего на мишень ионного пучка, определяющая плотность и температуру абляционной плазмы, так и темп осаждения покрытия, т. е. толщина пленки, осаждаемой за один импульс ионного тока. Для покрытий, осажденных при большой плотности мощности ионного пучка, наблюдаются повышенные значения нанотвердости и модуля Юнга. Величина адгезии мала при большом темпе осаждения покрытия. Коэффициент трения, как правило, тем меньше, чем больше шероховатость
|
| 333 |
|
|
|a В фонде НТБ ТПУ отсутствует
|
| 463 |
|
|
|t Взаимодействие излучений с твердым телом
|o материалы 7 Международной конференции, Минск, 26-28 сентября, 2007 г.
|v С. 265-267
|d 2007
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 701 |
|
1 |
|a Петров
|b А. В.
|c специалист в области электротехники
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1939-
|g Александр Васильевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27884
|4 070
|
| 701 |
|
1 |
|a Рябчиков
|b А. И.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1950-
|g Александр Ильич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22006
|4 070
|
| 701 |
|
1 |
|a Струц
|b В. К.
|
| 701 |
|
1 |
|a Усов
|b Ю. П.
|c российский ученый, электротехник
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1937-
|g Юрий Петрович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\19875
|4 070
|
| 701 |
|
1 |
|a Ренк
|b Т. Дж.
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20111213
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20130628
|g RCR
|
| 850 |
|
|
|a 63413507
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
