Характеристики тонкопленочных фуллереновых покрытий, осаждаемых при различных условиях с помощью мощных ионных пучков
| Parent link: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы 7 Международной конференции, Минск, 26-28 сентября, 2007 г.. С. 265-267.— , 2007 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Summary: | Формирование тонкопленочных содержащих фуллерены C[60] и С[70] углеродных покрытий проводилось осаждением на кремниевые подложки абляционной плазмы, генерируемой при воздействии импульсных мощных ионных пучков (МИП) на графитовые мишени различной плотности. Измерены нанотвердость и модуль Юнга покрытий, адгезия покрытий к монокристаллической кремниевой подложке, коэффициент трения и шероховатость поверхности покрытий при различных условиях их осаждения. На указанные характеристики покрытий влияют как плотность энергии падающего на мишень ионного пучка, определяющая плотность и температуру абляционной плазмы, так и темп осаждения покрытия, т. е. толщина пленки, осаждаемой за один импульс ионного тока. Для покрытий, осажденных при большой плотности мощности ионного пучка, наблюдаются повышенные значения нанотвердости и модуля Юнга. Величина адгезии мала при большом темпе осаждения покрытия. Коэффициент трения, как правило, тем меньше, чем больше шероховатость В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
| Published: |
2007
|
| Subjects: | |
| Format: | Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=599385 |
| Summary: | Формирование тонкопленочных содержащих фуллерены C[60] и С[70] углеродных покрытий проводилось осаждением на кремниевые подложки абляционной плазмы, генерируемой при воздействии импульсных мощных ионных пучков (МИП) на графитовые мишени различной плотности. Измерены нанотвердость и модуль Юнга покрытий, адгезия покрытий к монокристаллической кремниевой подложке, коэффициент трения и шероховатость поверхности покрытий при различных условиях их осаждения. На указанные характеристики покрытий влияют как плотность энергии падающего на мишень ионного пучка, определяющая плотность и температуру абляционной плазмы, так и темп осаждения покрытия, т. е. толщина пленки, осаждаемой за один импульс ионного тока. Для покрытий, осажденных при большой плотности мощности ионного пучка, наблюдаются повышенные значения нанотвердости и модуля Юнга. Величина адгезии мала при большом темпе осаждения покрытия. Коэффициент трения, как правило, тем меньше, чем больше шероховатость В фонде НТБ ТПУ отсутствует |
|---|